狠狠色丁香久久综合婷婷亚洲成人福利在线-欧美日韩在线观看免费-国产99久久久久久免费看-国产欧美在线一区二区三区-欧美精品一区二区三区免费观看-国内精品99亚洲免费高清

      

        

            
		
		
       		
            
			
            
				
            
					
            
						
            
							
            
								
								
            那諾中國有限公司
                                                                        
            
										  中級會員 | 第11年									
            
                                    								
            

							
            
						
            
                        

					
            
										
            
						
            
                            							
            
								
            
								
            
									
            18916157635
            
								
            
							
            
                            						
            
					
            
										
				
            
			
            
			
            
				
            
					
				
            
			
            
		
            

		
		 
		
		
            
			
            
				
            
					
					
					
            
						
            反應(yīng)離子刻蝕機檢驗操作及判斷
            
						
            
							時間：2016-1-12閱讀：2981
							
            
							
				
				分享：
				
				
						
            						
            
						
            
							     反應(yīng)離子刻蝕機是一款獨立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品。具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔，便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口：一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷。反應(yīng)離子刻蝕機可以支持zui大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計，并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的極限真空。反應(yīng)離子刻蝕機系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥，一個250l/s的渦輪分子泵，濾網(wǎng)過濾器，以及一個10cfm的機械泵(帶Formblin泵油)。RF射頻功率通過600W，13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓，該自偏壓可以高達(dá)-500V，這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。

                反應(yīng)離子刻蝕機是基于PC控制的全自動系統(tǒng)。系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示，流量及功率則以數(shù)字形式實時顯示。系統(tǒng)提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級，以及維護人員級。允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式)，和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運行系統(tǒng)。基于全自動的控制，該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。
                
            反應(yīng)離子刻蝕機檢驗操作及判斷
                1. 確認(rèn)萬用表工作正常，量程置于200mV。
                2.冷探針連接電壓表的正電極，熱探針與電壓表的負(fù)極相連。
                3.用冷、熱探針接觸硅片一個邊沿不相連的兩個點，電壓表顯示這兩點間的電壓為正值，說明導(dǎo)電類型為P 型，刻蝕合格。相同的方法檢測另外三個邊沿的導(dǎo)電類型是否為P型。
                4.如果經(jīng)過檢驗，任何一個邊沿沒有刻蝕合格，則這一批硅片需要重新裝片，進行刻蝕。            


							
						
            
					
            
				
            
			
            
		
            



		 



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 




	 
	
	
	

            
	
            
		
            
			
            會員登錄
            
			×
		
            
		
            
				
            
					
            
						
						
            請輸入賬號
            
					
            
				
            
				
            
					
            
						
						
            請輸入密碼
            
					
            
				
            
				
            
					
            =
                       
            請輸驗證碼
            
                    
            
				
            
				
            
		
            
	
            

            


            
	
            
		
            
			
            收藏該商鋪
            
			X
		
            
		
            
			
			
            該信息已收藏！
            
			
			
            
                
            
                    
            標(biāo)簽：
            
                    
            保存成功
            (空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
            
                
            
                
            
                    
            常用：
            
                    
            
                
            
            
            
		
            
	
            

            
	

            
	
            
		
            
			
            提示
            
			X
		
            
		
            
			
            您的留言已提交成功！我們將在第一時間回復(fù)您~
            
		
            
	
            

            

			 

		

		
            
		    														撥打電話
					
										
		
            
		
		
		
		
		
		
		
        
		












    

	
            
		在線留言