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            那諾中國(guó)有限公司
                                                                        
            
										  中級(jí)會(huì)員 | 第11年									
            
                                    								
            

							
            
						
            
                        

					
            
										
            
						
            
                            							
            
								
            
								
            
									
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            進(jìn)口微波去膠機(jī)*款適用于遠(yuǎn)程控制的設(shè)備
            
						
            
							時(shí)間：2015-10-28閱讀：3167
							
            
							
				
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							 　　進(jìn)口微波去膠機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。
            　　
            進(jìn)口微波去膠機(jī)系統(tǒng)控制：
            　　PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
            　　10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
            　　Windows Office兼容
            　　存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
            　　工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
            　　自動(dòng)或手動(dòng)操作
            　　
            進(jìn)口微波去膠機(jī)工藝參數(shù)：
            　　材質(zhì)：石英玻璃
            　　容積：21公升
            　　腔體尺寸：直徑240mm，深度460mm
            　　腔體后部：鋁
            　　腔門(mén)：鋁質(zhì)材料制作，抽拉式支撐架跟前門(mén)相連，便于手動(dòng)放片；
            　　氣體分布：前門(mén)擴(kuò)散
            　　觀察視窗：防紫外及微波
            　　支撐架：鋁質(zhì)材料，
            　　真空連接：DN40 ISO-KF
            　　壓力控制：Pirani，1-100Pa
            　　真空泵：推薦35m3/h
            　　真空閥：電子氣動(dòng)閥，DN40 ISO-KF
            　　真空密封：硅樹(shù)脂
            　　氣體供應(yīng)：1路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制
            　　氣體通道：3路數(shù)字MFC，裝有電磁閥，1000/500/200sccm（N2校準(zhǔn)），1/4" Swagelok接頭
            　　卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
            　　功率：2.45GHz，50-1200W連續(xù)可調(diào)
            　　耦合：微波天線，鋁質(zhì)諧振器，腔體內(nèi)無(wú)電極
            　　
            進(jìn)口微波去膠機(jī)選配：
            　　真空泵 ： 雙級(jí)真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
            　　氣路：額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器
            　　旋轉(zhuǎn)臺(tái)：鋁，直徑200mm,速度可調(diào)
            　　ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體

            進(jìn)口微波去膠機(jī)
            


							
						
            
					
            
				
            
			
            
		
            



		 



  
    
    				
			

		
    
    
    
    
    
    
    
    
    
    

    

     
     
     
	 




	 
	
	
	

            
	
            
		
            
			
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