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概述
希望準(zhǔn)確檢測” 從部件到成品，品質(zhì)檢查的方方面面
近來，隨著產(chǎn)品設(shè)計(jì)多樣化，檢查外觀時(shí)對單個(gè)部件的品質(zhì)管理要求越來越高，人們期望能夠在不降低生產(chǎn)節(jié)拍的情況下進(jìn)行品質(zhì)檢查，實(shí)現(xiàn)“邊移動邊穩(wěn)定測量”。ZW-7000/5000系列充分發(fā)揮了白光共焦方式的優(yōu)點(diǎn)，即使各種材質(zhì)和形狀混在一起也能進(jìn)行穩(wěn)定測量
用小光點(diǎn)如實(shí)測量
激光位移傳感器在測量段差及間隙時(shí)，存在發(fā)生多面反射導(dǎo)致形狀輪廓模糊、邊緣檢測位置波動、位置檢測精度下降等問題。ZW-5000憑借10μm的小光點(diǎn)，可避免發(fā)生多面反射，形狀輪廓清晰，從而提高位置檢測精度。
傾斜·曲面
相較于以往的激光位移傳感器，即使是光澤面也能進(jìn)行傾斜、曲面的高精度形狀測量。
材質(zhì)混在一起
根據(jù)材質(zhì)的不同，以往的激光位移傳感器需要改變傳感頭的種類和安裝方向，每次都要花費(fèi)調(diào)整時(shí)間。
白光共焦位移傳感器無需區(qū)分使用傳感頭和安裝方向，可邊移動邊進(jìn)行各種材質(zhì)的測量。
粗糙面*2的平坦度
使用以往的激光位移傳感器時(shí)，來自工件的多重反射光會誘發(fā)測量值跳動，因此無法掌握本來希望測量的“平坦度”。另外，傳感頭的朝向和測量線的方向會造成更大的偏差。
白光共焦位移傳感器不受多重反射光的影響，可1次性測量近似于實(shí)際形狀的高度。
忠實(shí)測量工件形狀的高速采樣
使用激光位移傳感器時(shí)，移動測量會導(dǎo)致精度劣化，需要增加平均次數(shù)，因此出現(xiàn)了形狀再現(xiàn)性較差的問題。ZW-7000可實(shí)現(xiàn)短20μs的高速采樣，即使無平均化處理，也可忠實(shí)測量形狀。
*1. 使用傳感頭ZW-S7010/ZW-S5010時(shí)的代表值。
*2. 有切削痕跡、測量線等的工件。
在制造現(xiàn)場，為了提高生產(chǎn)效率，機(jī)器人和工作臺在組裝和檢查中得到廣泛應(yīng)用。
隨著制造裝置本身不斷小型化，需要簡化測量設(shè)備中的裝置組裝和操作。
ZW-7000/5000系列的傳感頭利用了白光共焦方式的優(yōu)點(diǎn)，超小型、輕量化，可輕松安裝到有空間限制的裝置和移動部，有助于加快生產(chǎn)節(jié)拍。
縮短時(shí)間：多臺傳感器同時(shí)測量
憑以往的激光位移傳感器的尺寸，在空間受限的情況下難以進(jìn)行多臺傳感器并行測量。ZW-7000/5000系列可并行安裝超小型傳感頭，從而縮短時(shí)間。
縮短時(shí)間：縮短振動停止的等待時(shí)間
例如，在使用電動汽缸時(shí)，僅在需要時(shí)將傳感頭移至測量部位的情況下，由于超小型、輕量化的傳感頭在汽缸停止后的振動較少，因此可縮短振動停止的等待時(shí)間，實(shí)現(xiàn)快速測量。
省略工序：無需傳感頭的旋轉(zhuǎn)工序
以往的激光位移傳感器在光反射到受光元件上的位置測量工件高度，因此需要根據(jù)測量對象物體的形狀和移動方向執(zhí)行傳感頭的旋轉(zhuǎn)工序，造成了花費(fèi)多余時(shí)間的問題。白光共焦位移傳感器無方向限制，在相同安裝條件下，可在所有方向進(jìn)行移動測量。
可動部位也可放心使用，耐彎曲光纖電纜
控制器與傳感頭通過直徑3mm的耐彎曲光纖電纜連接。通過300萬次的彎曲測試*，盡可放心地應(yīng)用于可動部位。
* 本公司規(guī)定的評估條件“彎曲半徑(20mm)×300萬次”
增加延長用光纖電纜
測定點(diǎn)無偏差
以往的激光位移傳感器的測量點(diǎn)和光點(diǎn)尺寸會隨高度而變，因此受到撓度及傾斜的影響，可能會無法準(zhǔn)確測量目標(biāo)位置。ZW-7000/5000系列白光共焦位移傳感器在測量范圍內(nèi)的任意位置均能通過同一個(gè)測量點(diǎn)進(jìn)行準(zhǔn)確測量。
可實(shí)現(xiàn)狹窄空間和墻邊的測量
以往的激光位移傳感器在測量細(xì)小管道的深處及微小凹陷部的高度時(shí)，反射光會被壁面遮擋，需要每次調(diào)整傳感器和工件的方向。ZW-7000/5000系列白光共焦位移傳感器的照射光與反射光相對于工件同軸，因此與安裝方向無關(guān)，可對狹窄空間及微小的工件進(jìn)行測量。
ZW-7000
| 形狀 | 測量范圍 | 光點(diǎn) 直徑 | 靜止 分辨率 * | 電纜 長度 | 型號 |
|---|---|---|---|---|---|
 |  | φ50μm | 0.004μm | 2m | ZW-S7010 2M |
| 0.3m | ZW-S7010 0.3M | ||||
 | φ70μm | 0.008μm | 2m | ZW-S7020 2M | |
| 0.3m | ZW-S7020 0.3M | ||||
 | φ100μm | 0.016μm | 2m | ZW-S7030 2M | |
| 0.3m | ZW-S7030 0.3M |
| 形狀 | 名稱 | 電纜長度 | 型號 |
|---|---|---|---|
 | 傳感頭與控制器之間延長用光纖電纜 (連接適配器 ZW-XFCM附帶) | 2m | ZW-XF7002R |
| 5m | ZW-XF7005R | ||
| 10m | ZW-XF7010R | ||
| 20m | ZW-XF7020R | ||
| 30m | ZW-XF7030R | ||
 | 連接適配器 (傳感頭引出電纜與延長用光纖電纜之間 延長用光纖電纜ZW-XF70□□R隨附) | - | ZW-XFCM |
ZW-5000
| 形狀 | 測量范圍 | 光點(diǎn) 直徑 | 靜止 分辨率 ＊ | 電纜 長度 | 型號 |
|---|---|---|---|---|---|
 |  | φ9μm | 0.004μm | 2m | ZW-S5010 2M |
| 0.3m | ZW-S5010 0.3M | ||||
 | φ13μm | 0.008μm | 2m | ZW-S5020 2M | |
| 0.3m | ZW-S5020 0.3M | ||||
 | φ18μm | 0.016μm | 2m | ZW-S5030 2M | |
| 0.3m | ZW-S5030 0.3M |
| 形狀 | 名稱 | 電纜長度 | 型號 |
|---|---|---|---|
 | 傳感頭與控制器之間延長用光纖電纜 連接適配器 ZW-XFC2附帶) | 2m | ZW-XF5002R |
| 5m | ZW-XF5005R | ||
| 10m | ZW-XF5010R | ||
| 20m | ZW-XF5020R | ||
| 30m | ZW-XF5030R | ||
 | 連接適配器 (隨附于延長用光纖電纜 ZW-XF50□□R) | - | ZW-XFC2 |
ZW-7000/5000通用
| 形狀 | 名稱 | 電纜長度 | 型號 |
|---|---|---|---|
 | 并行電纜 (ZW-7000□/5000□用32極) (控制器 ZW-7000□/5000□隨附) | 2m | ZW-XCP2E |
 | RS-232C電纜 PC連接用 | 2m | ZW-XRS2 |
 | RS-232C電纜 PLC/可編程終端連接用 | 2m | ZW-XPT2 |
| 名稱 | 形狀 | 廠家 | 電纜 長度(m) *1 | 型號 |
|---|---|---|---|---|
| 小型 兩側(cè)帶接插件電纜 (RJ45/RJ45) 尺寸、線芯數(shù)(對數(shù))： AWG26×4P 電纜護(hù)套材質(zhì)： LSZH *2 電纜顏色： 黃色 *3 |  | 歐姆龍 株式會社 | 0.3 | XS6W-6LSZH8SS30CM-Y |
| 0.5 | XS6W-6LSZH8SS50CM-Y | |||
| 1 | XS6W-6LSZH8SS100CM-Y | |||
| 2 | XS6W-6LSZH8SS200CM-Y | |||
| 3 | XS6W-6LSZH8SS300CM-Y | |||
| 5 | XS6W-6LSZH8SS500CM-Y | |||
| 堅(jiān)固型 兩側(cè)帶接插件電纜 (RJ45/RJ45) 尺寸、線芯數(shù)(對數(shù))： AWG22×2P |  | 歐姆龍 株式會社 | 0.3 | XS5W-T421-AMD-K |
| 0.5 | XS5W-T421-BMD-K | |||
| 1 | XS5W-T421-CMD-K | |||
| 2 | XS5W-T421-DMD-K | |||
| 5 | XS5W-T421-GMD-K | |||
| 10 | XS5W-T421-JMD-K | |||
| 堅(jiān)固型 兩側(cè)帶接插件電纜 (M12/RJ45) 尺寸、線芯數(shù)(對數(shù))： AWG22×2P |  | 歐姆龍 株式會社 | 0.3 | XS5W-T421-AMC-K |
| 0.5 | XS5W-T421-BMC-K | |||
| 1 | XS5W-T421-CMC-K | |||
| 2 | XS5W-T421-DMC-K | |||
| 5 | XS5W-T421-GMC-K | |||
| 10 | XS5W-T421-JMC-K | |||
| 堅(jiān)固型 兩側(cè)帶接插件電纜 (M12 L型/RJ45) 尺寸、線芯數(shù)(對數(shù))： AWG22×2P |  | 歐姆龍 株式會社 | 0.3 | XS5W-T422-AMC-K |
| 0.5 | XS5W-T422-BMC-K | |||
| 1 | XS5W-T422-CMC-K | |||
| 2 | XS5W-T422-DMC-K | |||
| 5 | XS5W-T422-GMC-K | |||
| 10 | XS5W-T422-JMC-K |
尺寸、線芯數(shù)(對數(shù))：AWG24×4P
| 名稱 | 形狀 | 廠家 | 型號 |
|---|---|---|---|
| 電纜 | - | 日立電線株式會社 | NETSTAR-C5E SAB 0.5 × 4P CP * |
| - | 倉茂電工株式會社 | KETH-SB * | |
| - | 昭和電線電纜系統(tǒng)株式會社 | FAE-5004 * | |
| - | JMACS株式會社 | IETP-SB * | |
| RJ45連接器 | - | 泛達(dá)公司 | MPS588-C * |
尺寸、線芯數(shù)(對數(shù))：AWG22×2P
| 名稱 | 形狀 | 廠家 | 型號 |
|---|---|---|---|
| 電纜 | - | 倉茂電工株式會社 | KETH-PSB-OMR * |
| - | JMACS株式會社 | PNET/B * | |
| - | 昭和電線電纜系統(tǒng)株式會社 | FAE-5002 * | |
| RJ45組裝式連接器 |  | 歐姆龍株式會社 | XS6G-T421-1 * |
| 項(xiàng)目 | 型號 | ZW-S7010 | ZW-S7020 | ZW-S7030 | ZW-S5010 | ZW-S5020 | ZW-S5030 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 適用傳感器控制器 | ZW-7000□ | ZW-5000□ | |||||
| 測定中心距離 | 10mm | 20mm | 30mm | 10mm | 20mm | 30mm | |
| 測量范圍 | ±0.5mm *1 | ±1mm *1 | ±2mm *1 | ±0.5mm | ±1mm | ±2mm | |
| 靜止分辨率 *2 | 0.004μm | 0.008μm | 0.016μm | 0.004μm | 0.008μm | 0.016μm | |
| 線性度 *3 | ±0.45μm | ±0.9μm | ±2.0μm | ±0.45μm | ±0.9μm | ±2.0μm | |
| 光點(diǎn)直徑 (測量范圍內(nèi)整區(qū)) *4 | φ50μm | φ70μm | φ100μm | φ9μm | φ13μm | φ18μm | |
| 測量周期 *5 | 20μs～400μs | 80μs～1600μs | |||||
| 使用環(huán)境照度 | 物體表面照度30000Lx以下：白熾燈 | ||||||
| 環(huán)境溫度范圍 | 工作時(shí)：0～+50℃、保存時(shí)：-15～+60℃ (不結(jié)冰、不凝露) | ||||||
| 環(huán)境濕度范圍 | 工作時(shí)/保存時(shí)：35～85%(不凝露) | ||||||
| 保護(hù)構(gòu)造 | IP40(IEC60529) | ||||||
| 振動(耐久) | 10～150Hz(單振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 80分鐘 | ||||||
| 沖擊(耐久) | 150m/s2、6個(gè)方向、各3次(上下、左右、前后) | ||||||
| 溫度特性 *6 | 0.6μm/℃ | 1.1μm/℃ | 1.8μm/℃ | 0.6μm/℃ | 1.1μm/℃ | 1.8μm/℃ | |
| LED的安全性 | 風(fēng)險(xiǎn)組3(IEC62471) | ||||||
| 材質(zhì) | 箱體：鋁壓鑄 光纜包層部：PVC 校準(zhǔn)ROM：PC | ||||||
| 光纜長度 | 0.3m、2m(耐彎曲電纜) | ||||||
| 光纜小彎曲半徑 | 20mm | ||||||
| 絕緣電阻(校準(zhǔn)ROM) | 外殼與所有端子間：20MΩ(250V兆歐表) | ||||||
| 耐壓(校準(zhǔn)ROM) | 外殼與所有端子間：AC1000V、50/60Hz、1分鐘 | ||||||
| 重量 | 光纜長度0.3m 約170g 光纜長度2m 約180g | ||||||
| 附件 | 校準(zhǔn)ROM固定用螺釘(M2)、 吊帶(2個(gè))、 使用說明書、 使用注意事項(xiàng) | 校準(zhǔn)ROM固定用螺釘(M2)、 吊帶(1個(gè))、 使用說明書、 使用注意事項(xiàng) | |||||
*1.測量范圍在測量周期為28μs以上時(shí)
*2.在測量中心距離對本公司標(biāo)準(zhǔn)鏡面對象物體進(jìn)行平均次數(shù)16384次測量時(shí)的實(shí)效值 與出口貿(mào)易管理法規(guī)對應(yīng)控制器(ZW-7000T/5000T)連接時(shí)，無論傳感頭和設(shè)定條件如何，小分辨率都為0.25μm。 *3.設(shè)定本公司標(biāo)準(zhǔn)對象物體的材質(zhì)：相對于鏡面測量時(shí)的理想直線的誤差
*4.以測量波長的峰值光強(qiáng)度的1/e2(13.5%)定義的實(shí)效值
*5.連接了5m以上的延長用光纖電纜時(shí)，測量周期(曝光時(shí)間)的設(shè)定范圍會發(fā)生變化。
*6. 用鋁夾具固定傳感頭和對象物體之間，在相同溫度環(huán)境下設(shè)置傳感頭和控制器時(shí)的測量中心距離的測量值變化量
控制器
| 項(xiàng)目 | 型號 | ZW-7000□ | ZW-5000□ | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 輸入輸出類型 | NPN/PNP通用 | |||||
| 傳感頭連接臺數(shù) | 1臺 | |||||
| 適用傳感頭 | ZW-S70□□ | ZW-S50□□ | ||||
| 測量用光源 | 白色LED | |||||
| LED的安全性 | 風(fēng)險(xiǎn)組3(IEC62471) | |||||
| 段顯示 | 主數(shù)字顯示 | 11段白色顯示、6位 | ||||
| 輔數(shù)字顯示 | 11段綠色顯示、6位 | |||||
| LED 顯示 | 狀態(tài)指示燈 | HIGH(橙色)、PASS(綠色)、LOW(橙色)、 STABILITY(綠色)、ZERO(綠色)、 ENABLE(綠色)、THRESHOLD-H(橙色)、 THRESHOLD-L(橙色)、RUN(綠色) | ||||
| EtherCAT指示燈 | ECAT RUN(綠色)、L/A IN(Link/Activity IN)(綠色)、 L/A OUT(Link/Activity OUT)(綠色)、ECAT ERR(紅色) | |||||
| 外部 接口 | Ethernet | 100BASE-TX/10BASE-T 無協(xié)議(TCP/UDP)、EtherNet/IP | ||||
| EtherCAT | EtherCAT協(xié)議100BASE-TX | |||||
| RS-232C | 大115,200bps | |||||
| 模擬 輸出端子臺 | 模擬量電壓輸出(OUTV) | -10V～+10V、輸出阻抗：100Ω | ||||
| 模擬量電流輸出(OUTA) | 4mA～20mA、大負(fù)載電阻：300Ω | |||||
| 32極 擴(kuò)展連接器 | 判定輸出 (HIGH/PASS/LOW) | 晶體管輸出方式 輸出電壓：DC21.6～30V 負(fù)載電流：50mA以下 ON時(shí)剩余電壓：2V以下 OFF時(shí)漏電流：0.1mA以下 | ||||
| BUSY輸出(BUSY) | ||||||
| 報(bào)警輸出(ALARM) | ||||||
| 啟用輸出(ENABLE) | ||||||
| 漏型標(biāo)志輸出(SYNFLG) | ||||||
| 觸發(fā)BUSY輸出 (TRIGBUSY) | ||||||
| 記錄狀態(tài)輸出 (LOGSTAT) | ||||||
| 記錄錯(cuò)誤輸出(LOGERR) | ||||||
| 穩(wěn)定性輸出(STABILITY) | ||||||
| 任務(wù)狀態(tài)輸出 (TASKSTAT) | ||||||
| LIGHT OFF輸入 (LIGHT OFF) | DC輸入方式 輸入電壓：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 輸入電流：7mA Typ.(DC24V) ON電壓/ON電流：19V/3mA以上 OFF電壓/OFF電流：5V/1mA以下 | |||||
| 歸零輸入(ZERO) | ||||||
| 時(shí)間輸入(TIMING) | ||||||
| 復(fù)位輸入(RESET) | ||||||
| 漏型輸入(SYNC) | ||||||
| 觸發(fā)輸入(TRIG) | ||||||
| 記錄輸入(LOGGING) | ||||||
| BANK | 選擇時(shí) BANK輸出 (BANK_OUT1～3) | 晶體管輸出方式 輸出電壓：DC21.6～30V 負(fù)載電流：50mA以下 ON時(shí)剩余電壓：2V以下 OFF時(shí)漏電流：0.1mA以下 | ||||
| BANK 選擇輸入 (BANK_SEL1～3) | DC輸入方式 輸入電壓：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 輸入電流：7mA Typ.(DC24V) ON電壓/ON電流：19V/3mA以上 OFF電壓/OFF電流：5V/1mA以下 | |||||
| 主要 功能 | 曝光時(shí)間 | 自動/固定 | ||||
| 測量周期 *1 | 20μs～400μs | 80μs～1600μs | ||||
| 材質(zhì) | 標(biāo)準(zhǔn)/鏡面/粗糙面 | |||||
| 測量項(xiàng)目 | 高度/厚度/運(yùn)算 | |||||
| 濾波器處理 | 中值/平均/微分/高通/低通/帶通 | |||||
| 輸出 | 縮放/各種保持/歸零/測量值記錄 | |||||
| 顯示 | 測量值/閾值/模擬量輸出電壓值或電流值/ 判定結(jié)果/分辨率/曝光時(shí)間/內(nèi)部記錄狀態(tài)/峰值受光量 | |||||
| 設(shè)定登錄數(shù) | 多8個(gè)BANK | |||||
| 任務(wù)處理 | 多任務(wù)(1個(gè)BANK多4個(gè)任務(wù)) | |||||
| 系統(tǒng) | 保存/初始化/測量信息顯示/通信設(shè)定/ 傳感頭校正/鍵鎖定/歸零存儲/時(shí)間輸入 | |||||
| 額定值 | 電源電壓 | DC21.6V～26.4V(含波動) | ||||
| 消耗電流 | 800mA以下 | |||||
| 絕緣電阻 | 所有導(dǎo)線和FG端子間：20MΩ(250V兆歐表) | |||||
| 耐壓 | 所有導(dǎo)線和FG端子間：AC500V、50/60Hz、1分鐘 | |||||
| 耐環(huán)境性 | 保護(hù)構(gòu)造 | IP20(IEC60529) | ||||
| 振動(耐久) | 10～55Hz(單振幅0.35mm)、X/Y/Z各方向 50分鐘 | |||||
| 沖擊(耐久) | 150m/s2、6個(gè)方向、各3次(上下、左右、前后) | |||||
| 環(huán)境溫度范圍 | 工作時(shí)：0～+40℃、保存時(shí)：-15～+60℃ (不結(jié)冰、不凝露) | |||||
| 環(huán)境濕度范圍 | 工作時(shí)/保存時(shí)：35～85%(不凝露) | |||||
| 接地 | D型接地(接地電阻100Ω以下) *以往的第三種接地 | |||||
| 材質(zhì) | 箱體：PC | |||||
| 重量 | 約900g(僅本體)、約150g(并行電纜) | |||||
| 附件 | 并行電纜(ZW-XCP2E) 光纖清潔劑10支(ZW-XCL) 使用說明書 會員注冊表 | 并行電纜(ZW-XCP2E) 光纖清潔劑10支(ZW-XCL) 光纖適配器蓋 吊帶(1個(gè)) 使用說明書/會員注冊表 | ||||
ZW-7000□
ZW-5000□
具體內(nèi)容詳見：歐姆龍OMRON光纖同軸位移傳感器ZW-7000 / 5000系列
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