您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)！ 登錄| 免費(fèi)注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
15510102388
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時間，并且能夠靈活應(yīng)對未來的工藝擴(kuò)展。此外，在所有工藝中實(shí)施最佳的溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過延長部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應(yīng)對的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長等。
產(chǎn)品規(guī)格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風(fēng)量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達(dá)壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規(guī)格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達(dá)底壓時消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
