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			一種高靈敏度的MEMS流量傳感器
			
            
			
			
            
				
            
					
            發(fā)證機(jī)構(gòu)：
            
					
            國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

            
				                      
            生效日期：
            2021-11-16

            
                                    
            截止日期：
            長(zhǎng)期
            				
				
            認(rèn)證簡(jiǎn)介：
					
            一種高靈敏度的MEMS流量傳感器
            
				
            
			
            
		
            
		
            
			
            上一篇：
             SLEA上海實(shí)驗(yàn)室裝備協(xié)會(huì)會(huì)員單位證書(shū)            
            下一篇：
             一種MEMS質(zhì)量流量控制器             
            
		
            
	
            





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