VOC廢氣處理工藝方法有：噴淋+等離子、噴淋+UV光解、噴淋+光解等離子、微生物法、RCO燃燒法、濃縮回收法 。在實(shí)際工程運(yùn)用中，針對小氣量低濃度的場所可以考慮微生物法。具有易燃性質(zhì)的廢氣，一般建議采用噴淋預(yù)處理后再配套其他處理工藝。

VOC廢氣處理各種工藝的優(yōu)缺點(diǎn):

1、噴淋+等離子

采用的核心原理是等離子場分解，優(yōu)點(diǎn)：設(shè)備占地面積小，主要針對低濃度；缺點(diǎn)：有一定的安全隱患，凈化效果不穩(wěn)定。

2、噴淋+UV光解

采用的核心原理是臭氧分解，優(yōu)點(diǎn)：凈化效果高，處理效果穩(wěn)定，主要針對中低濃度；缺點(diǎn)：需控制氧化停留時(shí)間。

3、噴淋+光解等離子

采用的核心原理是復(fù)合臭氧和等離子，優(yōu)點(diǎn)：凈化效率高，主要針對中等濃度；缺點(diǎn)：有一定的安全隱患。

4、微生物法

采用的核心原理是生物降解，優(yōu)點(diǎn)：沒有二次污染，設(shè)備能耗小；缺點(diǎn)：運(yùn)行操作要求高，設(shè)備體積大，需要定期補(bǔ)充微生物，維護(hù)成本高。 

5、RCO燃燒法

采用的核心原理是高溫燃燒，優(yōu)點(diǎn)：主要針對高濃度有機(jī)廢氣，污染成分分解*；缺點(diǎn)：能耗高，運(yùn)行操作要求高，設(shè)備體積大，有一定的安全隱患。

6、濃縮回收法   

采用的核心原理是萃取濃縮，優(yōu)點(diǎn)：主要針對成分單一的廢氣回收有價(jià)值的成分，有經(jīng)濟(jì)效益；缺點(diǎn)：操作性要求高。

在實(shí)際工程運(yùn)用中，針對小氣量低濃度的場所可以考慮微生物法。具有易燃性質(zhì)的廢氣，一般建議采用噴淋預(yù)處理后再配套其他處理工藝。