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詳細(xì)摘要： 測(cè)量范圍：0.01 - 3000μm（濕法）、0.05-3000um（干法）重復(fù)性誤差：≤±0.5% （標(biāo)樣D50）測(cè)量原理：全量程米氏散射理論光電探測(cè)通道數(shù)不低于91個(gè)，配置有雙后向探測(cè)器和逆向探測(cè)器。采用大角散射光的球面接收技術(shù)，大角和后向探測(cè)器均為獨(dú)立單元，依據(jù)球面呈弧形分布排列在透鏡焦面上，并帶有獨(dú)立的防塵、雜散光屏蔽罩元件濕法進(jìn)樣系統(tǒng)：a)進(jìn)樣系統(tǒng)與主機(jī)獨(dú)立，干濕法自動(dòng)化進(jìn)