工作臺(tái)面	370mm*245mm
載物臺(tái)直徑	4"
光學(xué)參數(shù)	總放大率：50-100倍；手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm；
旋轉(zhuǎn)臺(tái)	粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；zui小刻劃：1°；銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm
三維探針座	探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2μ；三維探針座在工作臺(tái)面可任意位置固定，由磁性開關(guān)控制； zui多可布三維探針座6個(gè)；探針臂伸出長度：60mm；探針長度：40mm；
探針	探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑2μm；

標(biāo)準(zhǔn)配置：主工作臺(tái)、顯微鏡、承片臺(tái)、三維微調(diào)架2個(gè)、探針臂2支、探針2支。
可選配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。

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