2XZ型旋片式真空泵系雙維高速直聯(lián)結構旋片式真空泵(以下簡稱泵)。它有偏心地裝 在泵身腔內的子、及轉子內的旋片。轉子帶動旋片旋轉時,旋片借離心力和旋片彈簧彈力緊 貼腔壁,把進、排氣口分隔開來,并使進氣腔容積周期性地擴大而吸氣、排氣控容積則周期 性地縮小而壓縮氣體,代借壓縮氣體壓力和油推開排氣閥排氣,從而獲得真空。圖一為單級 泵的工作原理示意圖。雙級是兩個單級串聯(lián)而成。 |
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