電子半導(dǎo)體純水設(shè)備的維護保養(yǎng)需結(jié)合多維度管理策略,具體要點如下:
一、日常維護要點
1.?濾芯監(jiān)測與更換?
每批次制水后檢查PP棉濾芯顏色變化,發(fā)黃面積超1/3時立即更換;反滲透膜安裝在線電導(dǎo)率儀,產(chǎn)水電阻率下降15%即觸發(fā)預(yù)警。
前置過濾器(如石英砂、活性炭)定期反沖洗(1-3天/次),石英砂每3-6個月檢查磨損情況,活性炭6-12個月更換。
2.?壓力參數(shù)管理?
每日記錄進水與濃水壓力差,壓差超過0.15MPa優(yōu)先檢查保安過濾器,壓力表指針進入紅色區(qū)域超2小時自動停機。
3.?密封性檢查?
每周執(zhí)行O型圈潤滑保養(yǎng),采用“眼看、手摸、紙測、保壓”四步法檢測微滲漏。
二、反滲透(RO)系統(tǒng)維護
1.?清洗周期判斷?
產(chǎn)水量下降10%-15%、脫鹽率下降5%-10%或壓差增加10%-15%時需清洗,一般3-6個月/次。
2.?化學清洗流程?
使用專用清洗液循環(huán)清洗1-2小時,重度污染可延長浸泡時間,最后大流量沖洗30-60分鐘去除污染物,沖洗水pH需控制在6.5-7.5。
三、EDI模塊維護
1.?前置過濾器維護?
定期更換濾芯,確保EDI模塊免受污染。
2.?模塊再生與清洗?
通過電化學反應(yīng)去除雜質(zhì),使用專用清洗劑按手冊操作,關(guān)注電導(dǎo)率異常升高現(xiàn)象。
四、離子交換樹脂管理
1.?再生周期?
樹脂交換容量下降時需再生,通常1-3個月/次,再生液(酸/堿)濃度、流速需嚴格把控。
2.?更換標準?
樹脂破碎率達40%或多次再生后性能未恢復(fù)時更換。
五、周期性深度保養(yǎng)
1.?季度維護?
紫外線燈管強制更換(9000小時)、EDI模塊極水流量調(diào)節(jié)、儲水罐CIP清洗(0.1%過氧乙酸循環(huán)30分鐘)。
2.?年度大修?
反滲透膜離線分段清洗、泵體拆解維護、管路系統(tǒng)臭氧與巴氏殺菌交替消毒。
六、環(huán)境與水質(zhì)管控
1.?運行環(huán)境?
保持設(shè)備干燥清潔,濕度控制防止微生物滋生。
2.水質(zhì)監(jiān)測?
每日檢測電導(dǎo)率、TOC等參數(shù),異常時觸發(fā)預(yù)警機制。
七、停機維護策略
長期停用時排空儲水并消毒,重啟前檢查水路電路,放水15分鐘確認水質(zhì)正常后再啟用。
通過以上多維度維護體系,可有效延長設(shè)備壽命3-5年,降低突發(fā)故障率80%。
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