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測(cè)量顯微鏡的技術(shù)參數(shù)及分類(lèi)
技術(shù)參數(shù)：
數(shù)值孔徑是物鏡性能的重要指標(biāo)，決定了顯微鏡的分辨率。NA值越大，分辨率越高，但視場(chǎng)寬度和工作距離會(huì)相應(yīng)減小。
分辨率是顯微鏡能夠區(qū)分兩個(gè)相鄰點(diǎn)的能力，通常由NA和照明波長(zhǎng)決定。
放大率：放大率由物鏡和目鏡的放大倍數(shù)決定，總放大倍率為物鏡放大倍數(shù)與目鏡放大倍數(shù)的乘積。
焦深是指在顯微鏡中，當(dāng)焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)某一物體時(shí)，上下一定厚度內(nèi)能清晰看到的范圍。焦深與NA成反比，NA越大，焦深越淺。
工作距離是指物鏡前端到工件表面的距離。數(shù)值孔徑越大，工作距離越短。
等焦點(diǎn)距離是指物鏡安裝位置到工件表面的距離，用于實(shí)現(xiàn)最佳聚焦。
按測(cè)量原理分類(lèi)：光學(xué)顯微鏡：利用可見(jiàn)光成像，適用于觀察細(xì)胞、組織等生物樣品。電子顯微鏡：利用電子束成像，適用于納米級(jí)材料和科學(xué)領(lǐng)域的高分辨率測(cè)量。激光掃描共聚焦顯微鏡(LSM) ：結(jié)合光學(xué)顯微鏡和激光掃描技術(shù)，提供三維成像能力。
按用途分類(lèi)：
工業(yè)顯微鏡：用于工業(yè)檢測(cè)和質(zhì)量控制。
數(shù)碼顯微鏡：通過(guò)攝像頭采集圖像，適合制造業(yè)和科研領(lǐng)域。
金相顯微鏡：用于觀察金屬表面結(jié)構(gòu)和微觀缺陷。
三維測(cè)量顯微鏡：結(jié)合光學(xué)顯微鏡和先進(jìn)測(cè)量技術(shù)，適用于精密測(cè)量。
按結(jié)構(gòu)分類(lèi)：
倒置顯微鏡：適用于培養(yǎng)皿中的細(xì)胞觀察。
正立顯微鏡：適用于固定樣品的觀察。
萬(wàn)能工具顯微鏡：結(jié)合光柵測(cè)量原理，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)記數(shù)和測(cè)量。
按測(cè)量功能分類(lèi)
長(zhǎng)度測(cè)量顯微鏡：用于測(cè)量線(xiàn)性尺寸。
角度測(cè)量顯微鏡：用于測(cè)量角度。
表面粗糙度測(cè)量顯微鏡：用于測(cè)量表面粗糙度。
應(yīng)用領(lǐng)域：
測(cè)量顯微鏡廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域。例如：在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，用于觀察細(xì)胞結(jié)構(gòu)和組織切片。在材料科學(xué)領(lǐng)域，用于分析材料表面和微觀結(jié)構(gòu)。在半導(dǎo)體工業(yè)中，用于檢測(cè)芯片上的微小缺陷。
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