是指半導(dǎo)體、液晶和太陽電池等工廠使用的高純度供氣
北京京南華建安裝設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程:電子特氣系統(tǒng)、實驗室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、大宗氣體(液體)系統(tǒng)、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統(tǒng)、化學(xué)品輸送系統(tǒng)、純水系統(tǒng)提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項目現(xiàn)場安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測、維護(hù)保養(yǎng)等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品于一體的優(yōu)良企業(yè);
工程項目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各類實驗室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測等高科技行業(yè);為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案。
高純供氣系統(tǒng)
高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù);所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗測試等內(nèi)容。
常見氣體的種類電子行業(yè)中常見氣體的分類:普通氣體,也稱大宗氣體(Bulk gas ):氫氣(H2)、氮?dú)猓∟2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等。特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導(dǎo)體氣體分類如下:
(一)、腐蝕性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半導(dǎo)體氣體很多是對人體有害。
特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng),開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害,也就是因為這些顯而易見的危險,所以對于系統(tǒng)設(shè)計安全性的要求就特別高。
京南華建根據(jù)您的需求,為你提供高純氣體配件、設(shè)計、安裝、個性化全程專業(yè)服務(wù);使產(chǎn)品和工程的品質(zhì)、安全得到有力的保障。 京南華建專業(yè)安裝高純氣體管道系統(tǒng)
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