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硅片氧氣透過率測試儀是一款高精度、高自動(dòng)化的實(shí)驗(yàn)室儀器，基于庫侖氧氣分析傳感器和等壓法測試原理(也被稱為庫侖電量法)設(shè)計(jì)而成，參照ASTM
D3985等標(biāo)準(zhǔn)制造，能夠?yàn)楦?、中氣體阻隔性材料提供高精度和高效率的氧氣透過率測試。以下是對硅片氧氣透過率測試儀的詳細(xì)介紹：
一、硅片氧氣透過率測試儀工作原理
將預(yù)先處理好的硅片試樣夾緊于測試腔之間，氧氣或空氣在硅片的一側(cè)流動(dòng)，而高純氮?dú)庠诠杵牧硪粋?cè)流動(dòng)。氧氣分子穿過硅片擴(kuò)散到另一側(cè)的高純氮?dú)庵?，被流?dòng)的氮?dú)鈹y帶至傳感器。通過對傳感器測量到的氧氣濃度進(jìn)行分析，從而計(jì)算出氧氣透過率等參數(shù)。
二、硅片氧氣透過率測試儀應(yīng)用領(lǐng)域
硅片氧氣透過率測試儀不僅適用于硅片，還廣泛適用于食品、藥品、醫(yī)療器械、日用化學(xué)、光伏、電子等領(lǐng)域的薄膜、片材及相關(guān)材料的氧氣透過性能測試。
三、硅片氧氣透過率測試儀使用方法
樣品準(zhǔn)備：根據(jù)測試要求，將待測硅片裁剪成適當(dāng)?shù)某叽绾托螤?，并確保樣品表面沒有損壞或污染，以避免影響測試結(jié)果。
樣品安裝：將硅片放置在測試腔室中，確保其密封性良好并與高低氧氣濃度區(qū)域正確連接。
參數(shù)設(shè)置：通過氧氣透過率測試儀的控制系統(tǒng)設(shè)置適當(dāng)?shù)臏y試參數(shù)，例如溫度、濕度和測試時(shí)間等。實(shí)驗(yàn)室溫度一般應(yīng)控制在(23±2)℃標(biāo)準(zhǔn)溫度，以避免溫度對測試結(jié)果的影響。
氣體選擇：必須使用99.99%的高純氮?dú)?N2)，低純度氣體會(huì)導(dǎo)致無法測試高阻隔材料，測試時(shí)間會(huì)延長，測試數(shù)據(jù)誤差大，傳感器也會(huì)被損耗。同時(shí)，禁止使用易燃、腐蝕性氣體進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。
啟動(dòng)測試：啟動(dòng)氧氣透過率測試儀的運(yùn)行程序，讓儀器自動(dòng)進(jìn)行測試。
綜上所述，硅片氧氣透過率測試儀是一款功能強(qiáng)大的測試儀器，能夠準(zhǔn)確測量硅片的氧氣透過率。在使用時(shí)，需要遵循正確的操作方法和注意事項(xiàng)，以確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
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