本文介紹了使用NexION 1100G ICPMS測試高純石英材料中的多種元素雜質(zhì)。
高純石英具有穩(wěn)定的化學(xué)特性、優(yōu)異的電絕緣性和透光性，是半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的原材料之一。為了得到高純石英，需要去除石英原料的的多種雜質(zhì)。元素雜質(zhì)是影響高純石英質(zhì)量的重要指標(biāo)，需要精確測量，其中堿金屬、堿土金屬及過渡金屬最為關(guān)注。
在百級潔凈臺將石英樣品使用高純氫氟酸溶解，溶解后的樣品在解熱版上趕酸至近干，之后使用2%氫氟酸復(fù)溶，溶液上機(jī)測試即可。
圖 1 測試元素標(biāo)準(zhǔn)曲線
測試結(jié)果如下表，為了驗(yàn)證測試結(jié)果的準(zhǔn)確度，對平行-1的溶液樣品進(jìn)行了加標(biāo)回收實(shí)驗(yàn)，元素的加標(biāo)濃度均為100ppt，結(jié)果如下：
珀金埃爾默NexION 1100G系列電感耦合等離子體質(zhì)譜儀采用四極桿作為反應(yīng)池，使用活性反應(yīng)氣消除如40Ar+對40Ca+、40Ar16O+對56Fe+的質(zhì)譜干擾，同時利用四極桿反應(yīng)池的質(zhì)量篩選功能控制氨氣產(chǎn)生的副產(chǎn)物，徹底消除測試過程中遇到的質(zhì)譜干擾，保證測試結(jié)果的準(zhǔn)確度。
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