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            賽默飛色譜及質(zhì)譜

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            SEMICON CHINA 2021,帶你領(lǐng)略半導(dǎo)體全新解決方案

            閱讀:1150      發(fā)布時(shí)間:2021-3-25
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            展會(huì)邀請(qǐng)|速來(lái)圍觀SEMICON CHINA 2021,賽默飛帶你領(lǐng)略半導(dǎo)體全新解決方案

            SEMICON CHINA

            SEMICON CHINA 2021將于3月17日-19日上海新guo際博覽中心如期舉行。作為中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)盛事,囊括當(dāng)今世界上半導(dǎo)體制造領(lǐng)域主要的設(shè)備及材料廠商,該展會(huì)將為業(yè)內(nèi)人士提供高效交流、洞悉行業(yè)動(dòng)態(tài)的有效平臺(tái)。

            在此,賽默飛世爾科技誠(chéng)邀您蒞臨我們的展位(展位號(hào):N5135),觀摩我們的指尖實(shí)驗(yàn)室,與我們的技術(shù)專家共同探討失效分析解決方案。我們將展示針對(duì)半導(dǎo)體制造商和電子行業(yè)的先分析流程,助您加快產(chǎn)品缺陷識(shí)別和研發(fā)進(jìn)程,實(shí)現(xiàn)過(guò)程監(jiān)控、良率提升,及時(shí)搶占市場(chǎng)!

             

            賽默飛半導(dǎo)體雜質(zhì)檢測(cè)

            quan方位解決方案

             

             

            Dionex ICS-6000 HPIC高壓離子色譜系統(tǒng)

             

            廣泛應(yīng)用于離線和在線監(jiān)控fab AMC,超純水中陰、陽(yáng)離子的監(jiān)控以及高純?cè)噭ㄋ?、堿和有機(jī)溶劑)中陰、陽(yáng)離子分析。通過(guò)zhuan利的在線電解淋洗液發(fā)生器實(shí)現(xiàn)無(wú)需手動(dòng)配置淋洗液,實(shí)現(xiàn)操作更簡(jiǎn)單,測(cè)試結(jié)果更穩(wěn)定。

             

            iCAP™ TQ ICP-MS

             

            廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)金屬離子痕量分析檢測(cè)。標(biāo)配4路碰撞反應(yīng)氣體,*消除多原子離子干擾;標(biāo)配有機(jī)加氧裝置,可直接分析半導(dǎo)體行業(yè)的有機(jī)試劑樣品。開放的硬件設(shè)計(jì),使得ICPMS操作更簡(jiǎn)單,維護(hù)更方便。

             

            Element XR HR-ICP-MS

            高分辨電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

             

            高分辨率可達(dá)10000,可區(qū)分質(zhì)量數(shù)小于0.01 amu的質(zhì)譜干擾,真正實(shí)現(xiàn)無(wú)干擾分析,并減少?gòu)?fù)雜的樣品制備和方法開發(fā)過(guò)程。應(yīng)用:高純?cè)噭?、高純材料、高純氣體中痕量元素準(zhǔn)確定量。

            <<左右滑動(dòng)查看更多儀器>>

             

             

            Element GD Plus GD-MS

            輝光放電質(zhì)譜儀

             

            高純固體樣品直接分析,*減少樣品處理步驟,降低沾污風(fēng)險(xiǎn)。

             

            熱門應(yīng)用:

             

            賽默飛ELEMENT GD Plus GD-MS檢測(cè)高純Si中的Fe、Cu、Ti的深度分布

             

            Fe、Cu、Ti(<10 ppbw)是對(duì)太陽(yáng)能電池性能損害最大的金屬雜質(zhì):

            Fe、Cu在Si中會(huì)快速擴(kuò)散,屬于間隙雜質(zhì);

            Ti擴(kuò)散速度慢,會(huì)占據(jù)Si晶格的取代位點(diǎn)(類似B、P摻雜元素)。

            賽默飛ELEMENT GD Plus GD-MS半導(dǎo)體檢測(cè)高純硅,高純碳化硅,砷化鎵等,雜質(zhì)含量的檢出限可達(dá)到ppb及ppb以下。高純靶材中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)及純度鑒定,如銅,鈦,鋁,鉬及ITO等靶材,可實(shí)現(xiàn)6N+純度的鑒定。高純石墨及石墨粉的雜質(zhì)含量檢測(cè)及純度鑒定,可實(shí)現(xiàn)6N+純度的鑒定。

             

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