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            成都藤田科技有限公司

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            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀
            • 發(fā)布時間2025-02-24
            • 播放次數(shù)119次
            視頻簡介
            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀-成都藤田科技提供● 非接觸、非破壞式,量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內● 初學者也能輕松解析建模的初學者解析模式● 高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內的反射率,可分析多層薄膜厚度、光學常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))● 單點對焦加量測在1秒內完成● 顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外)● 獨立測試頭對應各種inline定制化需求●...
            視頻簡介

            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀-成都藤田科技提供

            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀

            ● 非接觸、非破壞式,量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內

            ● 初學者也能輕松解析建模的初學者解析模式

            ● 高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內的反射率,可分析多層薄膜厚度、光學常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))

            ● 單點對焦加量測在1秒內完成

            ● 顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外)

            ● 獨立測試頭對應各種inline定制化需求

            ● 最小對應spot約3μm

            ● 可針對超薄膜解析nk

            量測項目

            ●  反射率分析

            ●  多層膜解析(50層)

            ●  光學常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))

            膜或者玻璃等透明基板樣品,受基板內部反射的影響,無法正確測量。OPTM系列使用物鏡,可以物理去除內部反射,即使是透明基板也可以實現(xiàn)高精度測量。此外,對具有光學異向性的膜或SiC等樣品,也可不受其影響,單獨測量上面的膜。

            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀

            應用范圍

            ● 半導體、復合半導體:硅半導體、碳化硅半導體、砷化鎵半導體、光刻膠、介電常數(shù)材料

            ● FPD:LCD、TFT、OLED(有機EL)

            ● 資料儲存:DVD、磁頭薄膜、磁性材料

            ● 光學材料:濾光片、抗反射膜

            ● 平面顯示器:液晶顯示器、薄膜晶體管、OLED

            ● 薄膜:AR膜、HC膜、PET膜等

            ● 其它:建筑用材料、膠水、DLC等


            規(guī)格式樣

            (自動XY平臺型)


            OPTM-A1

            OPTM-A2

            OPTM-A3

            波長范圍

            230 ~ 800 nm

            360 ~ 1100 nm

            900 ~ 1600 nm

            膜厚范圍

            1nm ~ 35μm

            7nm ~ 49μm

            16nm ~ 92μm

            測定時間

            1秒 / 1點以內

            光徑大小

            10μm (最小約3μm)

            感光元件

            CCD

            InGaAs


            光源規(guī)格

            氘燈 鹵素燈

            鹵素燈


            尺寸

            556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自動XY平臺型的主體部分)

            重量

            66kg(自動XY平臺型的主體部分)

            量測案例

            半導體行業(yè) - SiO2、SiN膜厚測定案例

            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀

            FPD行業(yè) - 彩色光阻膜厚測定

            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀

            FPD行業(yè) – 用傾斜模式解析ITO構造

            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀

            日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀-成都藤田科技提供





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