產(chǎn)品分類(lèi)品牌分類(lèi)

光學(xué)儀表: 照射裝置光學(xué)系統(tǒng) 紫外線(xiàn)黑光燈電源紫外線(xiàn)裝置照度計(jì) LED照明光源裝置光源

水分儀: 水分儀設(shè)備

光學(xué)儀器: 自準(zhǔn)直儀處理系統(tǒng) 反射計(jì) 比色計(jì) 激光器

分析儀器: 導(dǎo)入機(jī) 熱脫設(shè)備應(yīng)力計(jì) 磁選機(jī) 內(nèi)窺鏡流變儀扭力計(jì) 濃度計(jì) 電阻率分析儀

外觀分析設(shè)備: 稱(chēng)重機(jī) 焊接機(jī) 分離器試驗(yàn)機(jī) 測(cè)量裝置堆焊設(shè)備高度計(jì) 測(cè)試儀電阻表測(cè)試儀耐壓測(cè)試儀水平儀檢查燈光度計(jì) 測(cè)量機(jī) 檢測(cè)儀白度計(jì)

化工機(jī)械設(shè)備: 均質(zhì)機(jī) 真空設(shè)備真空計(jì) 真空泵

環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器: 強(qiáng)度計(jì) 粉塵儀推車(chē) 風(fēng)速計(jì)

溫度控制器: 紅外熱像儀溫度計(jì)

常用儀表: 氣缸霧化裝置功率計(jì)

混合設(shè)備: 攪拌器

光學(xué)顯微鏡: 顯微鏡

過(guò)程控制儀器: 壓力機(jī) 壓力調(diào)節(jié)器壓力控制器差壓表氣壓計(jì) 壓力計(jì)

儀器設(shè)備: 栽培機(jī) 車(chē)速表鉆孔機(jī) 砂輪抗菌錘過(guò)濾器噴嘴濁度計(jì)

濕度儀表: 露點(diǎn)儀濕度計(jì)

專(zhuān)用儀器: 透壓計(jì) 模擬器蝕刻設(shè)備回收裝置色選機(jī)篩選機(jī)

光譜: 光譜儀

振蕩設(shè)備: 微波隔離器振蕩器

過(guò)程控制儀: 變送器流量計(jì)

光學(xué)成像設(shè)備: 相機(jī)

食品儀器: 機(jī)器壽司機(jī) 打飯機(jī) 脫粒機(jī) 脫殼機(jī)

光學(xué)器件: 色差儀旋光儀糖度計(jì) 干涉儀探頭連接器升降機(jī) 高斯計(jì) 磁通計(jì) 滴定儀折光儀螺栓測(cè)量?jī)x 色度計(jì)

元素分析儀: 氮化鋁電池材料液霧裝置鋁物位計(jì) 液位計(jì) 氧化鋁粉物性測(cè)定儀質(zhì)構(gòu)儀硬度計(jì) 廢氣分析儀粘度計(jì) 氮化硅氧化鋁氧化鋯

計(jì)量?jī)x表: 定時(shí)器特斯拉計(jì) 取向儀衍射儀拉力計(jì) 攝像機(jī) 加油嘴液壓機(jī) 輻射計(jì) 檢測(cè)器消泡機(jī) 測(cè)厚機(jī) 破碎機(jī) 粉碎機(jī) 光轉(zhuǎn)換器計(jì)數(shù)器

電子儀表: 指示器鉗形表軸承噴砂機(jī) 靜電裝置清潔設(shè)備靜電儀聯(lián)軸器皮帶濾波器檢查裝置電容器檢針器歐姆表點(diǎn)膠筆流量控制器接觸角儀變速器電流計(jì) 轉(zhuǎn)速表校驗(yàn)儀精米機(jī) 拋光機(jī) 機(jī)器設(shè)備膠帶帶鋸機(jī) 分切機(jī) 縱切機(jī) 剖殼機(jī) 恒電位儀控制器噪聲振動(dòng)計(jì) 控制裝置聲壓計(jì) 記錄儀放大器發(fā)生器

傳感器設(shè)備: 傳感器系統(tǒng) 傳感器

泵閥類(lèi): 接頭泵閥

監(jiān)測(cè)儀器: 除塵器軸力計(jì) X射線(xiàn) 探傷儀監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

實(shí)驗(yàn)設(shè)備: 臭氧機(jī) 珠磨機(jī) 混配器噴霧裝置分配器涂布機(jī) 濺射設(shè)備除濕機(jī) 球磨機(jī) 管式爐馬弗爐成型機(jī) 捏合機(jī) 加工機(jī) 縫合機(jī) 清洗機(jī) 反應(yīng)器恒溫器注塑機(jī) 混合器脫氣機(jī) 毛刺機(jī) 切割機(jī) 研磨機(jī) 鍍膜機(jī)

玻璃儀器: 比重計(jì)

傳熱設(shè)備: 冷卻器輥壓機(jī) 高溫裝置干燥機(jī) 加熱器

配件耗材: 坩堝玻璃珠纖維清潔載體空氣錘軟管濾布燈繼電器珠絲杠

化工設(shè)備: 送料機(jī)

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恩欣格Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS塑料聚苯硫醚用于半導(dǎo)體行業(yè)

時(shí)間：2024/6/13閱讀：673

Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS塑料聚苯硫醚用于半導(dǎo)體行業(yè)

TECATRON CMP natural是一種未填充PPS塑料 (聚苯硫醚)，專(zhuān)門(mén)針對(duì)CMP研磨環(huán)應(yīng)用而優(yōu)化，因此是恩欣格半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品系列中的一員。

TECATRON CMP natural材料具有的性能，相比標(biāo)準(zhǔn)PPS聚合物，在用作CMP研磨環(huán)時(shí)能減少微劃痕和晶圓級(jí)缺陷。

TECATRON CMP natural的原名是TECATRON SE natural。

材料選擇的關(guān)鍵挑戰(zhàn)是CMP研磨環(huán)材料性能的微小差異將影響襯墊凸起的形狀。

這種改變將導(dǎo)致不同數(shù)量的襯墊碎片，并影響碎片夾帶的程度，進(jìn)而對(duì)CMP工藝的整體性能產(chǎn)生重大影響。

研究表明，TECATRON CMP在一定程度上磨損研磨墊，因此研磨墊粗糙度得到改善，從而提高了材料的去除率，同時(shí)也減少了缺陷。

(見(jiàn)研究報(bào)告，此產(chǎn)品在文章中被稱(chēng)為T(mén)ECATRON SE，是TECATRON CMP材料的舊稱(chēng))

與恩欣格所有半導(dǎo)體級(jí)材料一樣，TECATRON CMP natural管材的生產(chǎn)符合半導(dǎo)體的精確復(fù)制要求 (也稱(chēng)為精確復(fù)制或CE)，與工業(yè)級(jí)PPS相比，它的質(zhì)量控制更為嚴(yán)格。

與標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)級(jí)PPS塑料相比，額外的質(zhì)量控制和措施降低了材料的雜質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)，改善了其內(nèi)部應(yīng)力和尺寸穩(wěn)定性。

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恩欣格Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS塑料聚苯硫醚用于半導(dǎo)體行業(yè)

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