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            UNECS-1500M-ULVA精品高速光譜 橢偏儀
            UNECS-1500M-ULVA精品高速光譜 橢偏儀

            地:日本

            貨物所在地:廣東深圳市

            更新時間:2025/3/1 11:45:10

            訪問次數(shù):34

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            化:
            www.keisoku.cn
            網(wǎng)址:
            www.tamasaki.cn/

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            供應簡介
            ULVAC愛發(fā)科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀

            透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量


            詳細介紹

            ULVAC愛發(fā)科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀

            ULVAC愛發(fā)科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀



            UNECS系列是一款光譜橢偏儀,可高速、高精度測量薄膜的厚度和折射率。采用測量方法,實現(xiàn)高速測量和緊湊化。我們提供廣泛的產品陣容,以適應不同的應用,包括便攜式類型、自動平臺類型和與真空環(huán)境兼容的內置類型。

            UNECS-1500M配備了易于操作的手動R-θ平臺,兼容φ150mm,使測量定位變得容易。

            用途

            透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測量

            特征

            高速測量:

            采用快照方式,實現(xiàn)了最高速度20ms的高速測量。

            兼容可見光譜:

            波長范圍可選擇標準型(530nm~750nm)和可見光譜型(380nm~760nm)。

            緊湊的傳感器單元:

            光發(fā)射/接收傳感器僅由光學元件組成,沒有旋轉機構,并且非常輕便和緊湊,并且不需要定期維護。

            豐富的產品陣容:

            我們擁有可適應各種應用的產品陣容,包括便攜式類型、手動/自動平臺類型、大型基板類型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內置類型。

            規(guī)格

            波長范圍530~750nm、380~760nm(任選其一)
            光斑直徑φ1mm、φ0.3mm(任選其一)
            入射角度70o固定
            膜厚再現(xiàn)性1σ = 0.1nm
            膜厚范圍1nm?2μm
            測量時間受光:20ms ? 3000ms 演算:300ms
            階段φ150mm手動R-θ平臺
            控制電腦筆記本型(帶操作/分析軟件)
            機器構成測量主體(帶手動載物臺、控制箱)、
            光源裝置、操作電腦(筆記本電腦型)、使用說明書(CD)



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