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            • 小王子介紹有關 ALD 設備的其他信息

              小王子介紹有關ALD設備的其他信息1.ALD、CVD、PVD技術的區(qū)別CVD是一種薄膜沉積技術,以“化學氣相沉積”的縮寫命名,PVD是“物理氣相沉積”的縮寫。由于ALD使用氣體,因此也稱為CVD的一種。然而,與CVD不同,CVD中氣體分解產(chǎn)生的SiO2和SiNx等化合物會像灰塵一樣堆積,而ALD的不同之處在于它可以一次形成一層薄膜。PVD是一種利用物理方法而不是氣體形成薄膜的技術。PVD是在真空中對成膜材料進行加熱、濺射、離子束照射或激光照射,使成膜材料蒸發(fā)、分散成顆粒,然后附著沉積在目標物體上
            • 小王子分享ALD設備原理

              小王子分享ALD設備原理ALD設備配備有不銹鋼或鋁制成的真空室,由原料氣體供給部分、排出原料氣體的排氣部分以及控制過程的控制單元組成。充當前體的有機金屬材料稱為前體。首先,將前體引入真空室并吸附到基板的表面上。之后,將室抽真空一次以去除多余的前驅(qū)體,然后氧化和氮化以形成薄膜。一個原子層在一個循環(huán)中形成,并且可以通過多次重復該循環(huán)來沉積薄膜。由于膜厚根據(jù)循環(huán)次數(shù)而變化,因此具有膜厚控制性高的特點。吹掃工藝在ALD成膜過程中也非常重要,因為腔室中殘留的不同前驅(qū)體和氧化源會對薄膜質(zhì)量產(chǎn)生負面影響。為了
            • 小王子介紹半導體制造設備原理

              小王子介紹半導體制造設備原理半導體制造設備的基本操作可分為電路設計/圖案設計、光掩模制作、前處理和后處理。1.電路設計/圖形設計電路設計/圖案設計涉及設計實現(xiàn)所需功能的電路,并進行多次仿真以考慮有效的圖案。專用CAD軟件用于設計半導體器件的圖案。2.光掩模制作光掩模制作是制作用于將電路圖案轉(zhuǎn)移到半導體晶圓上的模板。半導體晶片表面的晶體管和布線極其精細,通過放大將電路圖案繪制在透明玻璃板的表面上。3.預處理預處理是在硅晶圓上制作芯片。有清洗、光刻、刻蝕、成膜、離子注入、平坦化等工序,這一系列操作要
            • 小王子介紹什么是半導體制造設備?

              小王子介紹什么是半導體制造設備?半導體制造設備是制造晶體管、集成電路等所用半導體的設備。半導體不僅用于計算機和智能手機,還用于云服務和數(shù)據(jù)中心等許多電子設備。半導體的技術創(chuàng)新正在以使用半導體的信息存儲、數(shù)值計算和邏輯值計算為基礎,并考慮到其處理速度、能源效率和節(jié)省空間。顧名思義,半導體制造設備是用來制造半導體的。主要的半導體元件包括晶體管和二極管,它們是用于電氣控制(例如設備中的電流和方向)的獨立元件,處理設備程序等數(shù)據(jù)的算術處理的CPU,以及存儲程序等數(shù)據(jù)的存儲器。被提及。此外,還有用于相機的
            • 小王子分享關于半導體曝光設備的價格

              小王子分享關于半導體曝光設備的價格半導體光刻設備目前對于半導體的高效量產(chǎn)來說是,但據(jù)稱它是精密的機器,而且價格昂貴。半導體曝光設備中使用的光源的波長越短,可以形成的圖案越精細,并且曝光設備變得越昂貴。據(jù)稱每個波長的成本為i-line約4億日元、KrF約13億日元、ArF干式約20億日元、ArF浸沒式約60億日元、EUV約200億日元。電路越小,可以實現(xiàn)越快的信號傳輸和節(jié)能,但近年來,由于小型化,無法忽視工藝成本的增加,包括半導體曝光設備的價格。就半導體光刻設備所需的性能而言,從半導體制造的成本角
            • 小王子分享超聲波測厚儀基本原理

              小王子分享超聲波測厚儀基本原理超聲波測厚儀是根據(jù)超聲波脈沖反射原理來進行厚度測量的,當探頭發(fā)射的超聲波脈沖通過被測物體到達材料分界面時,脈沖被反射回探頭,通過測量超聲波在材料中傳播的時間來確定被測材料的厚度。凡能使超聲波以一恒定速度在其內(nèi)部傳播的各種材料均可采用此原理測量。按此原理設計的測厚儀可對各種板材和各種加工零件作測量,也可以對生產(chǎn)設備中各種管道和壓力容器進行監(jiān)測,監(jiān)測它們在使用過程中受腐蝕后的減薄程度??蓮V泛應用于石油、化工、冶金、造船、航空、航天等各個領域。使用技巧:1、一般測量方法:
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              小王子分享電子天平的正確使用與維護電子天平及其分類人們把用電磁力平衡被稱物體重力的天平稱之為電子天平。其特點是稱量準確可靠、顯示快速清晰并且具有自動檢測系統(tǒng)、簡便的自動校準裝置以及超載保護等裝置。按電子天平的精度可分為以下幾類:1、超微量電子天平超微量天平的zui大稱量是2至5g,其標尺分度值小于(zui大)稱量的10-6,如Mettler的UMT2型電子天平等屬于超微量電子天平。2、微量天平微量天平的稱量一般在3至50g,其分度值小于(zui大)稱量的10-5,如Mettler的AT21型電子
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              小王子分享電子天平的維護與保養(yǎng).1、將天平置于穩(wěn)定的工作臺上避免振動、氣流及陽光照射。2、在使用前調(diào)整水平儀氣泡至中間位置。3、電子天平應按說明書的要求進行預熱。4、稱量易揮發(fā)和具有腐蝕性的物品時,要盛放在密閉的容器中,以免腐蝕和損壞電子天平。5、經(jīng)常對電子天平進行自?;蚨ㄆ谕庑?,保證其處于*狀態(tài)。6、如果電子天平出現(xiàn)故障應及時檢修,不可帶“病”工作。7、操作天平不可過載使用以免損壞天平。8、若長期不用電子天平時應暫時收藏為好。有的人認為在電子天平量程范圍內(nèi)稱量的物體越重對天平的損害也就越大。這
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