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            lintec-mfc/EtherCAT質量流量控制器特征?

            時間:2023/11/18閱讀:421
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            用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。

            適用于半導體工藝的高性能質量流量控制器 EtherCAT 通信版本。它符合 SEMI 標準,可以使用 EtherCAT 通信進行控制,該通信用于加速半導體制造設備的傳輸系統(tǒng)。

            標準配備了半導體制造工藝所需的金屬密封件和琳得科的環(huán)境溫度補償流量傳感器,還可以添加與液化氣體兼容等選項。

            特征

            • 精度±1%SP

            • 金屬密封

            • 清潔(保證顆粒)

            • 環(huán)境溫度保證傳感器

            • EtherCAT通訊

            選項

            • 微流FS

            • 兼容液化氣

            • 大范圍

            EtherCAT通信設備的統(tǒng)一通信

            越來越多的半導體制造設備配備了 EtherCAT 通信(數(shù)字 I/F),用于高速控制機械臂等運輸系統(tǒng)。EtherCAT通信有65,536個節(jié)點,所有MFC測量系統(tǒng)和運動系統(tǒng)元件都可以集成到EtherCAT通信中。


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