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適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析
閱讀：586 發(fā)布時間：2024-11-25適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計AFW-100W原理分析
這是配備光譜儀的標準型號，非常適合采用集成光源的緊湊外殼的薄膜厚度計。可以進行非接觸式測量，因此您不必注意涂層工作表面。
它涵蓋了廣泛的測量波長和可測量的薄膜厚度。
可測量波長：380nm～1050nm
可測量膜厚：100nm～60μm
反射分光膜厚計AFW-100W
反射分光式膜厚計測量原理
當光線照射在透明薄膜上時，在薄膜表面反射的光（R1）與在薄膜內(nèi)部折射并在基材表面反射的光（R2）重疊，導(dǎo)致光線增強或減弱。
這種現(xiàn)象稱為“光干涉" 。當光的相位匹配時，強度增加，而當相位偏移時，強度減小。
右圖是“光干涉"的圖像。 “反射分光膜厚計"是通過分析該光的干涉（波長）來測量膜厚的方法。
計算理論
C/F（曲線擬合）
求使測量反射率與理論反射率之差的平方最小的膜厚值。
推薦在波紋數(shù)為3個以下時使用（膜厚約1μm）。
FFT（快速傅里葉變換）
通過FFT計算確定某一波長寬度內(nèi)表示膜厚的干涉波形的數(shù)量，并由此導(dǎo)出一個周期的波長寬度。
建議在有3個或更多波紋時使用（膜厚約1μm）。
| 模型 | AFW-100W |
| 目的 | 一般膜厚用 |
| 設(shè)備配置 | 單元主體、測量臺、分支光纖（1.5m）、PC、膜厚測量樣品 |
| 測量波長范圍 | 380nm～1050nm |
| 膜厚測量范圍 | 100nm至1μm（曲線擬合法） |
| 1μm～60μm（FFT法） | |
| 測量重復(fù)性 | 0.2%至1%（取決于膜質(zhì)量） |
| 測量光斑直徑 | 約7毫米 |
| 光源 | 12V-50W 鹵素燈 |
| 測量理論 | 曲線擬合法/FFT法 |
| 外形尺寸（毫米） | 機身：W230 x D230 x H135 |
| 測量臺：W150 x D150 x H115 | |
| 大約重量 | 5.5kg *不包括電腦 |
| 公用事業(yè) | 交流100V 50/60Hz |
| 消耗品 | 鹵素燈 |