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            半導(dǎo)體清洗設(shè)備在線使用的ECN型化學(xué)液體加熱器介紹

            閱讀:847          發(fā)布時間:2024-3-29

            半導(dǎo)體清洗設(shè)備在線使用的ECN型化學(xué)液體加熱器介紹

            用于半導(dǎo)體化學(xué)清洗設(shè)備的在線使用

            ECN型化學(xué)液體加熱加熱器

            image.png

            高純度制成
            ● 所有接液部件均采用 PFA
            ● 無雜質(zhì)洗脫
            ● 使用低溫加熱器時化學(xué)品不會變質(zhì)
            ● 即使使用堿性化學(xué)品也不會變質(zhì)

            可靠性
            ● 最大工作壓力:0.4MPa
            ● 最高工作溫度:標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品為80℃,特殊規(guī)格可生產(chǎn)至120℃。
            ● 內(nèi)置過熱報警傳感器。
            ● 停電等突然關(guān)機(jī)時,溫升約10℃
              。高溫下安全使用
            ● 內(nèi)置漏水傳感器
            ● 耐流量波動和沖擊

            維護(hù)方便
            ● 采用低溫加熱器,因此使用壽命為半性,無需更換加熱器
            ● 非常緊湊,易于安裝安裝
            ● 電氣控制 有效利用現(xiàn)有設(shè)施



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