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            技術(shù)文章

            石墨烯,SiC等超高溫的超材料熱處理設(shè)備-日本thermo氣流高溫爐

            閱讀:1693          發(fā)布時(shí)間:2020-9-8

            日本thermo氣流高溫爐,超高溫超級RTA系統(tǒng)SR系列

            樣品可以在30秒內(nèi)迅速加熱到1800℃。
            z適合于石墨烯,SiC熱解生成,SiC活化熱處理以及超高溫材料的熱處理。
            新型氣流類型! 

             

              
             通過采用我們自己的紅外加熱技術(shù),我們可以在30秒內(nèi)完成高達(dá)1800℃的快速升溫測試。
            達(dá)到1800℃的*溫度上升,功耗為2kW。
            盡管是超高溫型號,但它使用的結(jié)構(gòu)可將因熱而對芯管造成的損壞降至低。
              
              
             
            30秒內(nèi)達(dá)到1800℃
            紅外輻射清潔加熱
            省電僅2kW
            高真空型和氣流型

             

              
             
            石墨烯/ SiC活化熱處理
            SiC活化熱處理
            超高溫材料加熱
            電子材料的熱循環(huán)試驗(yàn)
              
              
             超高溫超級RTA設(shè)備具有以下規(guī)格。
              
             
            型號名稱SR1800GSR1800DSR1800
             紅外燈額定值2千瓦
             gao溫度1800°攝氏度
             加熱面積φ15毫米
             大加熱速度 100°C /秒300°C /秒 
             氣體介紹氣體流量氣體吹掃 
             大極限真空 5×10 -35×10 -5帕 
             冷水量2升/分鐘
            SR-1800原理圖
              
            氣流型超級RTA設(shè)備SR1800G型
            臺式型超級RTA設(shè)備SR1800D型
            超高溫超高速超級RTA設(shè)備SR1800型
              
             
              
             
              

             

             
            SR1800模型具有改進(jìn)的氣流路徑,并具有在氣流過程中進(jìn)行測試的jia結(jié)構(gòu)。
            另外,除了加熱功能以外的纖薄化還實(shí)現(xiàn)了低價(jià)格。
            這是一種可供更多研究人員使用的設(shè)備。
             
             
             
             
             
             
              
             
              
             
            該產(chǎn)品已通過減小腔室部件的尺寸而減小到桌面尺寸,同時(shí)又保持了SR1800型的加熱能力和易處理性。
             
             
             
             
             
            SR-1800D
              
             
              
             
            SR1800系列的高性能型號。
            SR1800將樣品放在球面反射鏡中,并進(jìn)行高效熱處理。
            該設(shè)備是高度可擴(kuò)展的設(shè)備,它結(jié)合了具有多個(gè)端口的真空室,一個(gè)安全回路和一個(gè)加熱體垂直機(jī)構(gòu)。
             
            渦輪分子泵可以連接到真空室,以支持10 -5 Pa的高真空。
            可選的實(shí)驗(yàn)包括氣壓調(diào)整等。
             
            該設(shè)備是在東京新產(chǎn)品開發(fā)補(bǔ)貼項(xiàng)目的資助下開發(fā)的產(chǎn)品。
             
            SR-1800

             

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