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            首頁(yè)   >>   技術(shù)文章   >>   掃描電鏡由哪三部分組成？各部分有什么作用？
            
		
            
	
            
        
            
        
            
	
            
				
            
					
            
						
            
						
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            掃描電鏡由哪三部分組成？各部分有什么作用？
            
        			
            閱讀：7152      發(fā)布時(shí)間：2021-7-9
        				
            
							
				
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             掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段?？芍苯永脴悠繁砻娌牧系奈镔|(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。

            掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣_上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過(guò)對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。

            掃描電鏡主要可以分為三個(gè)部分:
            a.電子光學(xué)系統(tǒng)
            作用:是用來(lái)獲得很細(xì)的電子束(直徑約幾個(gè)nm)，作為產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。
             
            b.信號(hào)收集處理，圖像顯示和記錄系統(tǒng)
            作用:收集(探測(cè))樣品在入射電子束作用下產(chǎn)生的各種物理信號(hào)，并進(jìn)行放大；將信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng)輸出的調(diào)制信號(hào)轉(zhuǎn)換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像，供觀察或記錄。
             
            c.真空系統(tǒng)
            作用:保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，避免燈絲壽命快速下降。
            需要提供高的真空度，一般情況下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。


             
            
        		
            
        		
			
            
        
            
    
            
	 		 
	
            
		
            
			
            
				
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