電子顯微鏡是利用聚焦的電子束與樣品中的原子相互作用，從而產(chǎn)生超高放大倍率的圖像，可以突破光學(xué)顯微鏡的分辨率極限，實現(xiàn)納米級別的觀察。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、新能源、材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球科學(xué)等應(yīng)用領(lǐng)域中。
聚焦離子束鎵離子束掃描電鏡DB500產(chǎn)品優(yōu)勢：
高壓隧道技術(shù)和無漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品
“承影”離子鏡筒，高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣
樣品倉內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動的機械手，集成式控制方式，操作精準(zhǔn)到位
自主可控，擴展性強，集成化設(shè)計的離子源更換時間快，極致的售后服務(wù)，提供免費的三年質(zhì)保無憂服務(wù)
場發(fā)射掃描電鏡5000X產(chǎn)品優(yōu)勢：
超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景
高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響
最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
鎢燈絲掃描電鏡SEM3200產(chǎn)品優(yōu)勢：
豐富的擴展性---SE\BSE\EDS\EBSD等
光學(xué)導(dǎo)航---可快速定位目標(biāo)樣品和感興趣區(qū)域
*大圖拼接---可實現(xiàn)全自動的采圖和拼接，展示超大視野畫面
圖像混合成像（SE+BSE）---在一個圖像中觀察到樣品的成分和表面信息
雙陽極結(jié)構(gòu)設(shè)計，提升了低電壓下的分辨率和成像質(zhì)量
*低真空模式---在低真空下提供樣品表面細節(jié)和形貌，軟件一鍵切換真空狀態(tài)
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