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　　日立掃描電鏡的附件常見的是X射線能譜儀，在各種材料的分析中起著*的作用。

 

　　日立掃描電鏡結(jié)合能譜儀使用，能進(jìn)行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是:各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量E，能能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進(jìn)行成分分析的。

 

　　能譜定量分析的準(zhǔn)確性與樣品的制樣過程，樣品的導(dǎo)電性，元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。因此，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差（數(shù)據(jù)庫及標(biāo)準(zhǔn))，我們無法消除，也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差(操作方法)，這些因素都會導(dǎo)致能譜定量不準(zhǔn)確。

 

　　那么，掃描電鏡除了可以利用能譜分析能夠根據(jù)襯度變化判斷元素在不同位置的富集程度，還能判斷微量元素的分布。這里我還要交給大家一個小技巧：能譜使用前要校準(zhǔn)，要使樣品平整，分析區(qū)域均質(zhì)、無污染，還要讓樣品導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性良好。