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            行業(yè)產(chǎn)品

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            北京精測電子在線推出離子濺射儀

            閱讀:423        發(fā)布時間:2016-11-21

            TT-29-LZ-Ⅱ離子濺射儀

             


            產(chǎn)品介紹: 
            TT-29-LZ-Ⅱ離子濺射儀是一種小型鍍膜裝置,可用作掃描電鏡、電子探針等儀器進(jìn)行試樣制備,是開展教學(xué)科研實驗的*儀器。 
            鍍膜原理與結(jié)構(gòu): 
            TT-29-LZ-Ⅱ離子濺射儀鍍膜基本原理是基于荷能正離子轟擊靶電極產(chǎn)生濺射現(xiàn)象,靶被濺射出來的中性原子沉淀于基臺上樣品表面成膜,形成導(dǎo)電層。 
            該離子濺射儀為二極結(jié)構(gòu),以基臺和樣品架為正電極與儀器外殼相連并接地,濺射靶電極為負(fù)電極(加負(fù)高壓),它們被安裝在玻璃罩的真空腔內(nèi),當(dāng)腔內(nèi)達(dá)到一定真空度,在負(fù)高壓的作用下發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體,其中正離子在電場加速下,獲得足夠能量轟擊負(fù)電極上的靶面,靶面被濺射原子沉淀于基臺的樣品表面形成導(dǎo)電膜,以供上述儀器分析。 
            技術(shù)參數(shù): 
            1、型號:TT-29-LZ-Ⅱ 
            1、真空腔:¢150×12硼酸硅質(zhì)玻璃 
            2、濺射靶尺寸:¢55×0.3 
            3、基臺:¢506-8個樣品 
            4、極間距調(diào)節(jié)范圍20-40mm 
            5、濺射電壓:-2000V-0DC連續(xù)可調(diào) 
            濺射電流0-30mA 
            6、定時器:0-99分?jǐn)?shù)字顯示 
            7、真空測量:1×105-1.0×10-1pa數(shù)字顯示,單片機(jī)控制,數(shù)字顯示,具有真空保護(hù)鎖設(shè)置。 
            8、控制系統(tǒng):單片機(jī)控制,完成真空自動測量、顯示、定時器功能以及自動完成鍍膜程序。 
            9、真空泵:2L/S二級旋片式直聯(lián)機(jī)械泵,極限真空度6×10-1pa 
            10、充氣閥:金屬微調(diào)針型閥保護(hù)氣體99.9%純度氬氣(推薦) 
            11、外形尺寸:長354mm×高216mm×深340mm 
            12、電源:AC220V50HZ 
            特點: 
            1、人性化設(shè)計,整體性好; 
            2、單片機(jī)控制,操作方便簡潔; 
            3、用戶可根據(jù)實驗需要自由設(shè)置濺射操作的工藝參數(shù),使用靈活、方便; 
            4、儀器有真空鎖保護(hù)設(shè)置,使儀器可靠性安全性好; 
             

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