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HTGSRM-1000型高溫氣敏材料測(cè)量系統(tǒng)

關(guān)鍵詞：氣敏材料，流量控制，

HTGSRM-1000高溫氣敏電阻測(cè)量系統(tǒng)主要用于測(cè)量電阻型氣體傳感器材料的氣敏特性，采用兩線或四線電阻測(cè)量原理設(shè)計(jì)開發(fā)。該系統(tǒng)采用外部控溫，使得氣敏元件測(cè)試擺脫了對(duì)器件的依賴，*保持材料的形貌和結(jié)構(gòu)。測(cè)量系統(tǒng)支持動(dòng)態(tài)配氣系統(tǒng)及高真空抽氣系統(tǒng)，從而有利于表征材料在不同的濃度（ppb甚至ppt量級(jí)）及氣壓（特別是氧壓）下的氣敏特性。該系統(tǒng)可用于實(shí)驗(yàn)，批量生產(chǎn)中各種納米材料、厚膜/薄膜材料、孔材料、粉體/粒子材料、塊體材料、半導(dǎo)體、碳管、有機(jī)物等氣敏元材料特性進(jìn)行分析。測(cè)量精度和范圍依據(jù)選配的測(cè)量?jī)x表決定。是目前國(guó)內(nèi)高等院校和科研院所的重要科研配備設(shè)備。

一、   產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、主機(jī)采用一體化實(shí)際，一鍵式操作。

2、多種測(cè)量方式，精密測(cè)量夾具，測(cè)量更精準(zhǔn)

3、常溫，高溫，氣氛，真空多種環(huán)境下測(cè)量

4、軟件功能強(qiáng)大，實(shí)現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件下的I-V、R-t、S-T。自動(dòng)分析數(shù)

據(jù)，可以分類保存，樣品和測(cè)量方案結(jié)合在一起，生成系統(tǒng)所需的實(shí)驗(yàn)方案，輸

出TXT、XLS、BMP等格式文件

5、支持國(guó)內(nèi)外各種源表，可與美國(guó)吉時(shí)利表Keithley2400數(shù)字源表，Keithley2635A數(shù)字源表等無縫對(duì)接。

6、支持個(gè)性化定制，不同的測(cè)試樣品，不同的夾具。二、主要技術(shù)參數(shù)：

1、溫度范圍      0—600℃，0—800℃，0—1000℃多種可選

2、測(cè)溫精度      0.1℃

3、升溫速度      1—20℃/min

4、控溫模式      程序控制，提供常溫、變溫、恒溫、升溫、降溫等多種組合方式

5、測(cè)試方法：兩線法或四線法

7、測(cè)試頻率      200Hz—50MHz（根據(jù)各種源表）

8、電極材質(zhì)      鉑銥合金

9、電阻測(cè)量范圍：0-100MΩ

10、氣敏電阻：1Ω-200MΩ

11、保護(hù)電極    帶保護(hù)電極，消除寄生電容、邊界電容對(duì)測(cè)試的影響

12、電極干擾屏蔽   電極引線帶同軸屏蔽，樣品平臺(tái)帶屏蔽罩

13、夾具升降控制   帶程序和手動(dòng)控制，可更換夾具的電動(dòng)升降裝置

14、熱電偶 熱電偶探頭與樣品平臺(tái)為同一熱沉，測(cè)控溫度與樣品溫度保持一致

15、樣品尺寸    直徑小于40mm，厚度小于8mm

16、流量量程：配置3個(gè)流量計(jì)（0-500sccm，0-2000sccm，控制范圍：2%-100%）

17、軟件功能：自動(dòng)分析數(shù)據(jù)，可以分類保存，樣品和測(cè)量方案結(jié)合在一起，生

成系統(tǒng)所需的實(shí)驗(yàn)方案，輸出TXT、XLS、BMP等格式文件

18、測(cè)量方案    提供靈活、豐富的測(cè)試設(shè)置功能，包括頻率譜、阻抗譜、介電譜

及其組合

19、接口方式：包括Keysight\WayneKerr\Tonghui等多種LCR接口，

20、外形尺寸    L360mm*W370mm*H510mm

21、凈   重          22KG

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