1928年德國人研制成功第一臺(tái)超聲波流量計(jì)，超聲波流量計(jì)至今已有75年歷史。
1955年首先應(yīng)用于馬克森（MAXSON）流量計(jì)測(cè)量航空燃燒油，這是一種基于聲循環(huán)法的兩組探頭（換能器）組成的液體流量計(jì)。
1958年A.L.H-ERDRICH等人發(fā)明折射式探頭，由于他們的研究可進(jìn)一步消除由于管壁的交混回響所產(chǎn)生的相位失真，也為管外夾裝提供了理論依據(jù)。
進(jìn)入20世紀(jì)七十年代以后：
由于集成電路和鎖相環(huán)路技術(shù)的發(fā)展，使超聲波流量計(jì)得以克服以前的精確度不高，響應(yīng)慢，穩(wěn)定性與可靠性差等致命弱點(diǎn)，使實(shí)用的超聲波流量計(jì)得以發(fā)展。
近20年來特別是近10年來，基于高速數(shù)字信號(hào)的處理技術(shù)與微處理技術(shù)的快速發(fā)展，基于新型探頭材料與工藝的研究以及聲道配置與流量動(dòng)力學(xué)的研究，
超聲流量測(cè)量技術(shù)取得了長(zhǎng)足進(jìn)展，顯示了強(qiáng)勁的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，發(fā)展勢(shì)頭迅猛。
2000年在巴西召開的國際流量測(cè)量學(xué)術(shù)會(huì)議（FLOMEK-O‘2000）上共宣讀學(xué)術(shù)論文集103篇，
其中直接涉及超聲波流量計(jì)及超聲波技術(shù)的論文20篇，約占論文總數(shù)的1/5。
在歷次國際流量學(xué)術(shù)會(huì)議上，采用超聲波流量計(jì)作為傳遞標(biāo)準(zhǔn)的文獻(xiàn)愈來愈多，可見超聲波流量計(jì)其潛在的巨大的生命力。
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