超精密振動(dòng)一位移測(cè)量?jī)x是電容不接觸式%性精密測(cè)量?jī)x器，它既是測(cè)振儀，又是電子測(cè)微計(jì)，直接讀取被測(cè)靜態(tài)位移值或振動(dòng)幅值（單峰值），。
性能指標(biāo)
量程/分辨率:±3.000μm/0.001μm、±30.00μm/0.01μm、±300.0μm/0.1μm
測(cè)量頻率范圍：0—7500HZ
線性度：≤±0.5%
輸出信號(hào)：0—±5.1V 0—18mA
零點(diǎn)漂移（開機(jī)預(yù)熱10分鐘后）：≤±0.25%FSO/h
量程、初始間隙δ0與傳感器電，直徑d0
測(cè)量圓柱面時(shí)，應(yīng)將儀器示值乘以一修正系數(shù)K1，不同圓柱面直徑D的K1值
工作溫度：放大器－10℃－+60℃ 探頭－30℃－+200℃
電源：220V±10%  50HZ
體積：258mm×300mm×102mm
使用方法：
靜態(tài)位移測(cè)量
1.頻率校準(zhǔn)
將傳感器的高頻插頭插入外接振蕩器的“輸入"插座，外接振蕩器的“輸出"與儀器后面板的“輸入"用兩頭帶有高頻插頭的電纜聯(lián)接起來(lái)，插好電源線，打開電源，儀器有數(shù)碼顯示，將8.2電，擰入傳感器頭部，并使之遠(yuǎn)離物體，按下前面板按鍵“頻率較準(zhǔn)"、“位移"，這時(shí)數(shù)顯有指示，預(yù)熱10分鐘，調(diào)節(jié)“調(diào)零"旋鈕，使顯示回到零點(diǎn)，如果偏向一邊，則調(diào)節(jié)“頻率較準(zhǔn)"鈕，使顯示回到零點(diǎn)附近，調(diào)節(jié)“調(diào)零"旋鈕回到零點(diǎn)。
2.選用量程和測(cè)量電，，安裝傳感器
根據(jù)被測(cè)位移值（或振動(dòng)幅值）可能變化的范圍，由表1查得相應(yīng)的量程和電，直徑d0。如選用±30μm檔，直接按下30μm檔量程鍵，再將傳感器借助彈性?shī)A套安裝到磁力表座（或用戶自制的，夾具）上，使測(cè)量電，的測(cè)量端面接近被測(cè)量物體表面，如果是平面或圓柱面，應(yīng)盡可能平行，如果是球面，應(yīng)可能對(duì)中。
3.調(diào)整初始間隙，開始測(cè)量
調(diào)整的初始間隙（參考值），調(diào)整時(shí)顯示為“+"位移值時(shí)，反時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器微調(diào)螺母，使測(cè)量間隙逐漸增大，反之順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，間隙減少，數(shù)值會(huì)逐漸接近零點(diǎn)。借助面板上的“調(diào)零"旋鈕細(xì)調(diào)，可使儀器，指零，測(cè)量即可開始，當(dāng)被測(cè)表面接近傳感器，測(cè)量間隙小，表示被測(cè)尺寸增加，儀器示值為“+"位移值，反之為“—"位移值，選用其它兩種量程，只需要根據(jù)表1重新?lián)Q用測(cè)量電，，切換量程和重新調(diào)整初始間隙。
4.與%儀表聯(lián)接
儀器設(shè)有“電壓輸出"插座，三種量程的滿量程電壓輸出信號(hào)都是±5.1V（線性區(qū)）電流18mA，電壓輸出可與%種高輸入阻抗儀表（計(jì)算機(jī)，示波器，頻率計(jì)，F(xiàn)FT頻譜分析儀等）聯(lián)接，以便對(duì)被測(cè)信號(hào)進(jìn)行記錄、觀察和分析處理。
(三)、振動(dòng)測(cè)量
儀器測(cè)量振動(dòng)位移時(shí)，其方法基本同靜態(tài)位移測(cè)量相似，其中初始間隙的調(diào)整可在被測(cè)物體啟動(dòng)前進(jìn)行，也可在啟動(dòng)后進(jìn)行，振動(dòng)測(cè)量時(shí),“位移"示值是顯示被測(cè)物體啟動(dòng)后的浮動(dòng)位移，同靜態(tài)位移一樣，都是直流信號(hào)分量，與交流信號(hào)分量無(wú)關(guān)，“振幅"示值是被測(cè)振動(dòng)信號(hào)的單振幅值（與直流信號(hào)分量無(wú)關(guān)），如果“位移"示值遠(yuǎn)離零點(diǎn)，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器微調(diào)螺母，使輸出回到零點(diǎn)附近，以，振動(dòng)測(cè)量有滿量程的線性工作范圍。
2.儀器輸出電壓與外接儀表定標(biāo)，確定被測(cè)振動(dòng)位移值
儀器輸出電壓接到%儀表上，%儀表使用直流DC輸入，在“頻率校準(zhǔn)"狀態(tài)下，調(diào)整“頻率校準(zhǔn)"鈕在滿量程范圍內(nèi)給出兩個(gè)不同的示值（如零與正滿度值，即為3μm或30μm或300μm），看其在外接%儀表中相應(yīng)的偏離格數(shù)，由此確定其間的定量關(guān)系，振動(dòng)測(cè)量時(shí)，根據(jù)所選量程，儀器輸出電壓在%儀表中所對(duì)應(yīng)的格數(shù)，通過(guò)以上定標(biāo)所確定的定量關(guān)系，確定出被測(cè)物體振動(dòng)的位移值。
（四）注意事項(xiàng)：
1.儀器屬精密測(cè)量?jī)x器，固定傳感器支架要有剛性，傳感器調(diào)整好，讓其穩(wěn)定一段時(shí)間，消除支架的機(jī)械蠕變?cè)匍_始測(cè)量。
2.被測(cè)量金屬物體要接地。
3.測(cè)量過(guò)程中盡量不要挪動(dòng)傳感器的聯(lián)接電纜線，使電纜線自然放置。
配套部件：
超精密振動(dòng)—位移測(cè)量?jī)x                           一臺(tái)
外接振蕩器                                       一只
傳感器（包括彈性?shī)A套、塑料保護(hù)套、φ2.9 、φ8.2、
φ26電容，板%一枚）                             一套
220V交流電源線                                   一根
輸出測(cè)量線                                       一根
外接振蕩器與儀器本體聯(lián)接線                       一根
接地線                                           一根
手提箱                                           一只