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ICP原子發(fā)射光譜儀是根據(jù)試樣中被測元素的原子或離子，在光源中被激發(fā)而產(chǎn)生特征輻射，通過判斷這種特征輻射波長及其強度的大小，對各元素進(jìn)行定性分析和定量分析的儀器。作為樣品前處理系統(tǒng)即離子激發(fā)源，通常接MS或OES聯(lián)用。

ICP要求以氣體、蒸氣、細(xì)霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進(jìn)樣。樣品導(dǎo)入包括（氣動霧化標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)樣系統(tǒng)或超聲霧化法、氫化物發(fā)生、電熱氣化、固體粉末進(jìn)樣）。

本文主要介紹霧化器選擇需要考慮的因素：

PFA霧化器和普通材質(zhì)霧化器選擇，耐HF材質(zhì)一般由聚四氟乙烯、全氟樹脂、陶瓷氧化鋁、聚酰胺等材料制成，主要用于地質(zhì)、土壤、半導(dǎo)體、合金等含硅化物樣品的檢測。另外，普通霧化器由玻璃或石英制成，主要用于環(huán)境水質(zhì)、簡單金屬、及非HF處理樣品檢測。

總?cè)芙夤腆w量TD：

是霧化器zui基本的指標(biāo)，界限值都在5  10  20  25  30  40%（W/v），其中30 40 的都是V型或平行霧化器。

懸浮微粒大小：

如測試的樣品是懸浮液（如土壤、廢棄固體、PVC、塑料、生化樣品等的消解液）則一定要用能過通過大微粒的霧化器，否則直接導(dǎo)致其損壞，普通玻璃同心霧化器的一般都可以通過75um的；而V型和平行通道結(jié)構(gòu)的霧化器具有能夠通過大微粒的能力。

測試樣品的種類和被測成分含量高低：

ICP上用的微量霧化器，適合于含量較高濃度分析和ICP-MS分析。

美國Savillex作為Agilent的7x00和8800系列ICP-MS的出廠標(biāo)準(zhǔn)配件供貨商，還與其聯(lián)合開發(fā)一套PFA配件，其中C700d可同時適用與ICP-OES和ICP-MS。具體選型見下表：