半導(dǎo)體電阻率測試儀是根據(jù)四探針原理，適合半導(dǎo)體器材廠，材料廠用于測量半導(dǎo)體材料（片狀、棒狀）的體電阻率，方塊電阻（簿層電阻），也可以用作測量金屬薄層電阻，經(jīng)過對用戶、半導(dǎo)體廠測試的調(diào)查，根據(jù)美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，在電路和探頭方面作了修改和，適合于半導(dǎo)體器材廠檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要，成為普及型的電阻率測試儀，具有測量精度高，穩(wěn)定性好，輸入阻抗高，使用方便、價(jià)格低廉等特點(diǎn)。

儀器指標(biāo)：

測量范圍：電阻率10^-3—10³Ω-cm，分辯率為10^-4Ω-cm ，可擴(kuò)展到10⁵Ω-cm

          方塊電阻10^-2—10⁴Ω/□，分辯率為10^-3Ω/□，可擴(kuò)展到10⁶Ω/□

          薄層金屬電阻10^-4—10⁵Ω，分辯率為10^-4Ω

可測半導(dǎo)體材料尺寸：直徑Φ15—Φ125mm；

長度：150mm(可擴(kuò)展500mm)

測量方式：軸向、斷面

數(shù)字電壓表：

量程：20mV(分辯率：10μV)、200mV、2V

測量誤差：±0.3%讀數(shù)±1字

輸入阻抗：大于108Ω

顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二管（LED）數(shù)字顯示

0---1999具有性、過載、小數(shù)點(diǎn)、單位自動顯示

恒流源：由交流供電

直流電流：0—100mA連續(xù)可調(diào)

量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

分辯率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

電流誤差：±0.3%讀數(shù)±2字

電性能模擬考核誤差：<±0.3%ASTM指標(biāo)

測試探頭：（1）探針機(jī)械游移率：± 0.3% ASTM 指標(biāo)

電源：交流220V±10%   50HZ或60HZ  功率消耗< 30W

電氣箱外形尺寸：119×440×320mm