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日本電測(cè)X線熒光膜厚儀是哪個(gè)型號(hào)
日本電測(cè)X線熒光膜厚儀是哪個(gè)型號(hào)
日本電測(cè)X線熒光膜厚儀是哪個(gè)型號(hào)？日本電測(cè)X線熒光膜厚儀是EX-731這個(gè)型號(hào)，該膜厚儀是一款專(zhuān)門(mén)用來(lái)測(cè)試各種元素厚度的一種儀器。采用多能譜分析器，使用256高頻分析器，光譜自動(dòng)分析. 高可測(cè)量3層膜厚.
日本電測(cè)X線熒光膜厚儀EX-731客戶案例
南京尚愛(ài)機(jī)電有限公司
青島威奧涂裝有限公司
珠海市海菲自動(dòng)門(mén)有限公司
深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
珠海贛星自動(dòng)化設(shè)備有限公司
日本電測(cè)X線熒光膜厚儀EX-731規(guī)格參數(shù)
測(cè)量臺(tái)操作方式 | 手動(dòng) | 自動(dòng) | ||
測(cè)量行程 | 單位(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |
移動(dòng)量 | X(mm) | 70 | 80 | |
Y(mm) | 70 | 60 | ||
Z(mm) | 80（測(cè)定物高 大150） | 50 | ||
測(cè)定物高（ 大） | 80（150可選） | 50 | ||
外形(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||
重量(kg) | 79 | 85 | ||
測(cè)量臺(tái)載重(kg) | 3 | 1 | ||
電源 | AC200V±10V | |||
X線源 | 油浸式小型微焦點(diǎn)Ｘ線管 | |||
照射方式 | 上面垂直照射方式 | |||
検出器 | 比例計(jì)數(shù)管 | |||
準(zhǔn)直孔 | 5種類(lèi)(自動(dòng)切換式) | |||
樣品觀察 | CCD鏡頭 | |||
測(cè)定対象 | 原子番號(hào)22(Ti)～82(Pb) | |||
濾波器 | (Co、Ni)自動(dòng)切換 | |||
厚度測(cè)定范圍 | 原子番號(hào)22～24：0.2～約20μm | |||
検量線 | 検量線自動(dòng)作成 | |||
測(cè)量功能 | 単層膜厚測(cè)定 | |||
測(cè)量模式 | 自動(dòng)測(cè)量 | |||
自動(dòng)測(cè)量臺(tái)功能 | 測(cè)定位置(X-Y-Z) 測(cè)定位置確認(rèn)功能 | |||
數(shù)據(jù)処理機(jī)能 | 統(tǒng)計(jì)量表示：平均、標(biāo)準(zhǔn)偏差、 大、 小、方差、Cp、Cpk | |||
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