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技術參數 : SJ-210
X 軸 (驅動部)
重量 : 大 約 0.5kg (控制器 +驅動部 +標
準檢出器
尺寸 (WxDxH)
控制器 : 52.1 x 65.8 x 160mm
驅動部 : 115 x 23 x 26mm
測量范圍 : 17.5, 5.6mm (橫向驅動部型)
測量速度 : 0.25, 0.5, 0.75mm/s 1mm/s (返回)
類型 : 差動電感式
電源 : 通 過 AC適配器／可充電鎳氫電池
充電時間 : 大約 4小時 (取決于環(huán)境溫度)
耐用性 :
大約 1000次測量 (根據使用條件 /
環(huán)境不同會有微小的出入)
檢出器
范圍 : 360µm (-200µm - +160µm)
檢測方法 : 有軌測量
測力 : 0.75mN 或 4mN: 參見 L-5
測針針尖 : 金剛石 , 90º / 5µmR
(60º / 2µmR: 參見 L-5)
數據存儲 : 記憶卡 (選件 12AAL069)
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