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            無油螺桿泵如何優(yōu)化粒子加速器的真空系統(tǒng)?

            閱讀:51      發(fā)布時(shí)間:2025-4-3
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            亞利桑那州立大學(xué)的材料離子束分析(IBeAM)實(shí)驗(yàn)室長期致力于材料分析設(shè)備的升級研究,該實(shí)驗(yàn)室的研究專家負(fù)責(zé)人馬克?曼格斯(Mark Mangers),與學(xué)生及行業(yè)合作伙伴緊密協(xié)作,不僅開展設(shè)備使用及數(shù)據(jù)處理方面的專業(yè)培訓(xùn),還承擔(dān)著設(shè)備維護(hù)的關(guān)鍵職責(zé)。

             


            亞利桑那州立大學(xué)曼格斯教授

            “我一直在探尋一個升級方案”

             

            亞利桑那州立大學(xué)曼格斯教授說:“我一直在探尋一個升級方案,在實(shí)際工作中,如果我忙于設(shè)備維修,便無法開展對學(xué)生或其他研究人員的培訓(xùn)工作,也難以實(shí)施其他能夠提升工作效率的事項(xiàng)。”

            因此曼格斯教授一直想要給粒子加速器尋覓一款維護(hù)少,性能穩(wěn)定的前級泵真空泵。


            只有VACUU?PURE 10可以解決他的難題。


            曼格斯教授說:“對于粒子加速器而言,任何新型前級泵都需構(gòu)建可靠、穩(wěn)定且低振動的真空環(huán)境,從而為粒子加速器實(shí)驗(yàn)營造最為適宜的真空條件?;诖?,對 VACUUBRAND 公司的 VACUU?PURE 10 螺桿泵進(jìn)行搭配測試,旨在以其替換油封旋片泵。經(jīng)研究發(fā)現(xiàn),該螺桿泵所達(dá)成的真空度與傳統(tǒng)旋片泵相當(dāng),然而卻無需進(jìn)行泵油更換以及頻繁維護(hù),幫助他們團(tuán)隊(duì)節(jié)約了大量的時(shí)間。

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            離子加速器的前級泵的應(yīng)用的一般要求有如下三點(diǎn):

             

            1.可靠性

            最大限度減少停機(jī)時(shí)間,在高真空應(yīng)用場景中,設(shè)備的持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行是保障實(shí)驗(yàn)進(jìn)程順利推進(jìn)的基礎(chǔ),任何意外停機(jī)都可能導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)中斷,不僅浪費(fèi)時(shí)間,還可能造成實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的缺失或不準(zhǔn)確。

            2.穩(wěn)定真空

            粒子加速器要求粗抽泵能夠穩(wěn)定提供 10?³ mabr 的真空度,以便與渦輪分子泵協(xié)同工作,進(jìn)而達(dá)到低至10??mbar的穩(wěn)定真空水平。這種穩(wěn)定的真空環(huán)境是確保粒子加速器內(nèi)粒子束穩(wěn)定運(yùn)行、精確控制以及實(shí)驗(yàn)結(jié)果準(zhǔn)確性的必要條件。在粒子加速過程中,微小的真空波動都可能對粒子的軌跡和能量產(chǎn)生影響,從而干擾實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性。

            3.低振動

            盡可能降低振動能夠確保精密設(shè)備的穩(wěn)定性,顯著提高實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可重復(fù)性。粒子加速器作為一種高度精密的設(shè)備,對振動極為敏感。振動可能導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部部件的微小位移,進(jìn)而影響粒子束的傳輸和聚焦,使得實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)出現(xiàn)偏差。通過減少振動,可以有效提升實(shí)驗(yàn)結(jié)果的一致性和可靠性,為科學(xué)研究提供更具說服力的數(shù)據(jù)支持。

             

            粒子加速器的應(yīng)用

             

            IBeAM 實(shí)驗(yàn)室的粒子加速器為一臺1.7 兆電子伏特的串聯(lián)加速器,廣泛應(yīng)用于離子束分析(IBA)和材料離子束改性(IBMM)等多個領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)研究。其獨(dú)特應(yīng)用涵蓋以下方面:

             

            1.半導(dǎo)體薄膜化學(xué)成分分析針對用于半導(dǎo)體的當(dāng)前及下一代薄膜進(jìn)行精確的化學(xué)成分分析。半導(dǎo)體材料的性能與其化學(xué)成分密切相關(guān),通過離子束分析技術(shù),可以深入了解薄膜中元素的種類、含量以及分布情況,為半導(dǎo)體材料的研發(fā)和優(yōu)化提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持,推動半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步。
            2.文化遺產(chǎn)文物化學(xué)分析借助粒子(離子)誘發(fā) X 射線發(fā)射(PIXE)技術(shù),對諸如羅馬時(shí)代的死亡面具、古代陶器、雕像以及古代武器所用金屬等文化遺產(chǎn)文物進(jìn)行化學(xué)分析。這一分析手段能夠揭示文物的制作材料、工藝以及產(chǎn)地等重要信息,對于文物鑒定、保護(hù)以及古代貿(mào)易路線的研究具有重要意義。通過化學(xué)分析,可以確定文物的真?zhèn)?,了解古代工藝的特點(diǎn)和傳承,以及推斷不同地區(qū)之間的貿(mào)易往來和文化交流。

            3.能源領(lǐng)域元素同位素分析利用粒子(離子)誘發(fā)伽馬射線發(fā)射(PIGE)技術(shù),對用于能源領(lǐng)域的鋰及其他元素進(jìn)行同位素分析。在能源研究中,元素的同位素組成對于理解能源材料的性能、反應(yīng)機(jī)理以及能源轉(zhuǎn)換效率等方面具有重要作用。通過精確的同位素分析,可以優(yōu)化能源材料的設(shè)計(jì)和制備,提高能源利用效率,為可持續(xù)能源的開發(fā)提供技術(shù)支撐。

             

            旋片泵、渦旋泵還是螺桿泵?


            粒子加速器的分析腔運(yùn)行于高真空范圍(10?? 10?? mbar)。用于將樣品和設(shè)備轉(zhuǎn)移至分析腔的過渡艙,需借助前級泵將壓力抽至約50 millitorr0.07 mbar)的相對前級壓力,隨后啟動渦輪分子泵,將過渡艙壓力進(jìn)一步降至10?? 10?? torr。實(shí)驗(yàn)室所采用的渦輪分子泵抽速最高可達(dá)260  / 秒。直至近期,實(shí)驗(yàn)室一直使用的是一臺額定抽速為14.2 m3/h,極限真空為 2×10?³ mbar1.5×10?³ 托)的油封旋片泵。

            為評估低維護(hù)粗抽泵的可行性,實(shí)驗(yàn)室將油封旋片泵替換為 VACUU?PURE 10。VACUU?PURE 10的額定抽速為 10 m3/h,極限真空為 5×10?³ mbar。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明,使用旋片泵將過渡艙從大氣壓抽至約50 毫托(0.07 毫巴)的相對前級壓力,耗時(shí)約 6 分鐘, VACUU?PURE 10 泵也能達(dá)到相近的抽氣時(shí)間。當(dāng)以VACUU?PURE泵作為粗抽泵,并打開將過渡艙與分析腔隔開的閘閥時(shí),觀察到壓力上升小于一個數(shù)量級。

            曼格斯曾對以渦旋泵替代現(xiàn)有旋片泵的可能性進(jìn)行過簡要考量。然而,在對市場上具有可比性的渦旋泵進(jìn)行維護(hù)要求以及極限真空評估后,發(fā)現(xiàn)相較于渦旋泵,VACUU?PURE 10 泵與現(xiàn)有的旋片泵相比具有更顯著的優(yōu)勢。在明確渦旋泵在該應(yīng)用場景中的價(jià)值較為有限后,曼格斯僅將 VACUU?PURE 10 泵視為旋片泵的可行替代方案。

             

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            經(jīng)過綜合評估,曼格斯最終確定 VACUU?PURE 10 泵在提供可比泵送性能的同時(shí),具備作為低維護(hù)粗抽泵的突出優(yōu)勢。油封旋片泵需要頻繁更換機(jī)油,且曼格斯大約每兩年就需將旋片泵送去進(jìn)行大修,這一過程耗費(fèi)了大量的時(shí)間和資源,嚴(yán)重限制了學(xué)生和亞利桑那州立大學(xué)行業(yè)合作伙伴使用粒子加速器開展研究的時(shí)間。

            VACUU?PURE 10 的應(yīng)用完全契合亞利桑那州立大學(xué) IBeAM 實(shí)驗(yàn)室在可靠性、穩(wěn)定性和低振動方面的嚴(yán)苛要求。其在性能上與傳統(tǒng)泵相當(dāng),同時(shí)無需進(jìn)行機(jī)油更換,極大地提高了研究流程的效率,為學(xué)生和行業(yè)合作伙伴創(chuàng)造了更多的合作機(jī)會,有力推動了材料分析領(lǐng)域的科研工作。

             

             

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