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            1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV
            • 1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV

            貨物所在地:安徽合肥市

            更新時(shí)間:2025-02-03 21:00:07

            瀏覽次數(shù):260

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            OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

              OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

            技術(shù)參數(shù)

            高溫爐殼體

            • 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55
            • 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

            功率

            2.5 KW

            電壓

            AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

            加熱元件

            摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長使用壽命)

            zui高工作溫度

            1200

            連續(xù)工作溫度

            1100

            zui快升溫速率

            <= 20 

            爐管材質(zhì)和尺寸

            石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

            加熱區(qū)長度

            400 mm

            恒溫區(qū)長度

            150  (+/-1 )

            控溫系統(tǒng)

            • PID30段程序化控溫  
            • 控溫儀表操作視頻

            控溫精度

            +/- 1 

             

            真空密封系統(tǒng)

             

             

             

            (點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

            兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min

            真空泵

            采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

            數(shù)字式真空顯示計(jì)

             

            • 美國進(jìn)口CVM-211數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上,測(cè)量范圍為10-4Torr~1000Torr
            • 可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹)

            混氣系統(tǒng)

            • 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS)
            • 三路浮子量程分別為
            • 10-100 cc/min.
            • 16-160 cc/min.
            • 25-250 cc/min
            • 內(nèi)部安裝有一混氣罐 

             

             

            尺寸

            • 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm
            • 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

            凈重

            60kg

            運(yùn)輸重量

            200

            質(zhì)保期

            一年質(zhì)保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

             CE Certificate 

             

             

             

             Operation Manual  Download Catalog    About shipping / Handling      Quick test instruction

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