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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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閱讀：112 發(fā)布時間：2020/11/11
雙臂機(jī)器人可實(shí)現(xiàn)高精度閃電快速傳輸晶片，并結(jié)合預(yù)對準(zhǔn)器，可檢測透明基板，不僅適用于硅片，還適用于多種化合物半導(dǎo)體材料。NXQ8000對準(zhǔn)平臺采用了ZX的線性運(yùn)動技術(shù)。借助編碼器反饋回路測量實(shí)際載物臺位置（而非電機(jī)位置），視覺系統(tǒng)不受硬件限制，允許對準(zhǔn)精度小于0.5um 3 sigma。配備5倍物鏡的Quadcam顯微鏡，將放大倍率，視野和焦深完美結(jié)合。是微電子，LED，3D IC，MEMS，微流控，太陽能和光電應(yīng)用的理想選擇。
