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上海圓馨能源科技有限公司
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寶德Burkert葉輪式流量傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理
2015-8-26 閱讀(377)
流量檢測(cè)在工業(yè)生產(chǎn)和日常生活中應(yīng)用廣泛.
寶德Burkert微流量傳感器主要用于測(cè)量流體的流速。流量、流向等性質(zhì).根據(jù)其測(cè)量原理的不同，可分為熱式流盆傳
感器和非熱式流量傳感器兩大類.寶德Burkert熱式流量傳感器主要依靠傳感器與流體間的熱相互作用來進(jìn)行側(cè)
量.該類burkert傳感器由于易采用半導(dǎo)體工藝制造，具有體積小、成本低、可以批zui生產(chǎn)，同時(shí)能與處理電路集
成在同一芯片上，使寶德Burkert傳感器的愉出直接實(shí)現(xiàn)數(shù)字化，易于與計(jì)算機(jī)接口等優(yōu)點(diǎn).但寶德Burkert熱流量傳感器也存在一定的不足，如反應(yīng)時(shí)間較長(zhǎng)、功耗大、襯底的熱傳導(dǎo)導(dǎo)致測(cè)量誤差、零點(diǎn)隨環(huán)境溫度的漂移等問題;對(duì)
流體加熱，也限制了熱式微流量寶德Burkert傳感器在生物技術(shù)方面的應(yīng)用
寶德Burkert葉輪式流量傳感器結(jié)構(gòu)及工作原理
寶德Burkert葉輪式流量傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理：
寶德Burkert葉輪式流量傳感器屬于非熱式傳感器，它是通過檢測(cè)流體使葉片轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)速來反應(yīng)流體的流量.
該結(jié)構(gòu)的中間陰影部分是轉(zhuǎn)動(dòng)軸，硅葉片作為電容的一個(gè)極板，由制作在玻璃板上的金屬
薄膜(黑色區(qū)域)構(gòu)成電容的另一極板.當(dāng)有流體流過時(shí)，硅葉片以硅柱為軸開始轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)的速度與流量的大小有關(guān).由于電容的兩個(gè)極板相對(duì)的面積隨葉片的轉(zhuǎn)動(dòng)在周期性的改變，由此產(chǎn)生的電容也將
作周期性的變化，且電容變化的頻率與轉(zhuǎn)速有關(guān).當(dāng)通過電容檢測(cè)電路測(cè)出電容變化的頻率，則可以通
過一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系將轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換成電信號(hào)翰出，從而反應(yīng)出流量的大小.采用電容檢側(cè)的優(yōu)點(diǎn)主要是容
易與Burkert寶德傳感器制備工藝相結(jié)合，減少了工藝難度，同時(shí)由于檢測(cè)的是數(shù)字信號(hào)，避免了失調(diào)、溫漂等線性電路難以解決的問題.
