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岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

聯(lián)系電話

4008529632

產(chǎn)品分類品牌

EVG光刻機(jī): 掩模對準(zhǔn)曝光機(jī) 光刻膠處理系統(tǒng)

EVG鍵合機(jī): 對準(zhǔn)設(shè)備晶圓鍵合機(jī) 直接鍵合設(shè)備臨時(shí)鍵合/解鍵合金屬鍵合設(shè)備

晶圓關(guān)鍵尺寸測量

EVG納米壓印機(jī): UV-NIL/SmartNIL紫外壓印納米壓印母版制作系統(tǒng)

膜厚儀: Thetametrisis膜厚儀光學(xué)相干斷層掃描全自動(dòng)同質(zhì)膜厚測量系統(tǒng) 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

防震臺: Herz TDI氣浮式被動(dòng)防震臺 Herz AVI系列主動(dòng)防震臺 Herz 電鏡隔振臺 DAEIL DVIA-T主動(dòng)防振臺 Stefan Mayer主動(dòng)消磁系統(tǒng)

晶圓厚度測量: 硅片厚度測量儀半自動(dòng)晶圓厚度測量

應(yīng)力測量: FSM應(yīng)力儀 ilis應(yīng)力儀

3D形貌儀/白光干涉輪廓儀: 白光干涉儀彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學(xué)輪廓儀白光干涉+共聚焦一體機(jī) 晶圓形貌和參數(shù)檢測

光學(xué)鏡頭對準(zhǔn)系統(tǒng)(定心儀)

片電阻測量儀: 薄膜電阻測量儀

晶圓缺陷檢測: 全自動(dòng)AOI系統(tǒng) 雙2D AOI系統(tǒng) LAZIN

等離子去膠: 微波等離子清洗

橢偏儀: FilmSense 橢偏儀

臺階儀

4D 動(dòng)態(tài)激光干涉儀: PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

光學(xué)粗糙度測試儀

電容式位移傳感器: Microsense 位移傳感器

磁性材料檢測設(shè)備

全自動(dòng)測量機(jī)臺

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岱美中國拿到半自動(dòng)多點(diǎn)膜厚測量儀訂單(2023,06)

時(shí)間：2023-09-01

該客戶系湖北武漢的上市公司，是一家從事半導(dǎo)體工藝制程材料、半導(dǎo)體先進(jìn)封裝材料、半導(dǎo)體顯示材料生產(chǎn)和研發(fā)的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司在湖北省、長三角、珠三角廣泛布局，總資產(chǎn)超50億元。

Thetametrisis膜厚測量儀主要應(yīng)用于客戶自研自產(chǎn)的光刻膠涂層材料。

ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在從幾埃到毫米的超寬范圍內(nèi)準(zhǔn)確測量堆疊薄膜和厚膜的厚度和折射率。

FR-Scanner為半自動(dòng)測量設(shè)備，通過移動(dòng)晶圓片進(jìn)行整片掃描記錄測量數(shù)據(jù)，具有高重復(fù)性、精確的反射率測量表現(xiàn)能力。薄膜從幾nm到幾百μm均可測量。FR-Scanner在準(zhǔn)確性、精度、再現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面提供了出色的性能。

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