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            德祥:德國Thermconcept高溫爐半導體行業(yè)應(yīng)用

            時間:2011-4-11閱讀:146
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            ——石英玻璃析晶性能試驗方法的*選擇

            析晶性能試驗對于天然水晶或天然高純二氧化硅、硅鹵化物等半導體行業(yè)的原料是*的性能測試,馬弗爐、中溫爐、高溫爐作為其檢測分析的行業(yè)標準推薦設(shè)備而*。

            中華人民共和國建材行業(yè)標準

            C/T 597-1995

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            半導體用透明石英玻璃管

            《石英玻璃析晶性能試驗方法》

            A3試驗設(shè)備

            A3.1電熱干燥箱。
            A3.2立式高溫二硅化鉬電爐。
            A3.2.1電爐必須具有雙層爐膛,內(nèi)爐膛為高純?nèi)趸X材料制成,爐內(nèi)樣品上放有石英墊。
            A3.2.2電爐溫度有P.I.D自動控制,精度為±1℃,24h內(nèi)穩(wěn)定在±2.5℃。爐溫均勻,梯度不大于±10℃。
            A3.3測量顯微鏡:測量精度為5μm,放大倍數(shù)為100。

            德國Thermconcept公司總部設(shè)在德國不萊梅, 擁有豐富的研發(fā)、設(shè)計和生產(chǎn)的各種馬弗爐和加熱爐系統(tǒng)的經(jīng)驗,加熱爐的溫度范圍從50℃到2000℃,能夠滿足半導體行業(yè)絕大多數(shù)用戶的應(yīng)用需求。

            HTL系列高溫爐

             

            ·不銹鋼外殼,防腐蝕

            ·雙層箱式結(jié)構(gòu),外殼溫度低

            ·高品質(zhì)加熱元件采用二硅化鉬材料

            ·爐體隔熱層由氧化鋁陶瓷纖維制成,低熱損失

            ·的溫度均勻性

            ·快速升溫或降溫

            ·手動平行門,避免與高溫面接觸

            ·半導體控制器,控溫精度高

            ·采用長壽命B型熱電偶

            ·后墻連有排氣管

            ·配有Eurotherm 3208控制器:操作簡單,控溫精度高,1個完整升溫程序,包括8個可編程獨立升溫段。

            HTK系列高溫爐

            ·內(nèi)襯、底部和前部都采用不銹鋼材料, 耐腐蝕

            ·雙層箱體結(jié)構(gòu),具有強制冷卻功能,因而外殼溫度非常低

            ·內(nèi)襯、底部和前部都采用不銹鋼材料

            ·排氣管采用氧化鋁材質(zhì)(Ø 25/18 mm)

            ·采用特殊材料制成的絕緣內(nèi)腔, 穩(wěn)定性好,使用壽命長

            ·高品質(zhì)加熱元件MoSi2, 安裝在內(nèi)腔的兩側(cè), 自由熱輻射, 每個加熱元件能夠單獨更換

            ·配有平行導向門, 容易裝載樣品, 且使操作者免受熱侵害

            ·B型熱電偶

            ·特殊的Labyrinth系統(tǒng), 密封性

            ·配有PID可編程程序控制器Eurotherm 3508, 可設(shè)定5個程序, 500個程序段, 5位字符顯示屏, 操作簡單, 控溫精度不超過+/- 2 K

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