臺式掃描電鏡是一種體積小巧，可安放在實驗臺面上操作的電子顯微鏡。其原理和傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡相同。部件包括:電子發(fā)射、電磁透鏡、信號探測、真空系統(tǒng)、計算機控制系統(tǒng)。
臺式掃描電子顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡相比，臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜、快速抽真空等優(yōu)勢，臺式掃描電子顯微鏡分辨力能滿足多數(shù)材料的顯微觀察。
臺式掃描電鏡填補光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的分辨率空白區(qū)域，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
隨著科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)進(jìn)入了納米領(lǐng)域，人們對顯微技術(shù)、顯微儀器的要求越來越高，需求也日益增長。
光學(xué)顯微鏡價格便宜，操作簡單，但由于可見光波長的限制，其放大倍數(shù)只能達(dá)到1000倍左右;傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數(shù)可以達(dá)到數(shù)萬倍，具有大景深，是當(dāng)前材料科學(xué)、生物科學(xué)領(lǐng)域常用的表征手段之一，但其投資巨大，而且需要經(jīng)過嚴(yán)格培訓(xùn)的操作人員，使用不便。
臺式掃描電鏡結(jié)合光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)掃描電鏡的優(yōu)點。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數(shù)和大景深，同時體積小、操作簡便，價格僅為傳統(tǒng)電鏡的幾分之一，逼近光學(xué)顯微鏡。臺式掃描電子顯微鏡操作方便、維護(hù)簡單等特點被認(rèn)可。
下面讓我們來了解一下臺式掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成吧
真空系統(tǒng):二級真空系統(tǒng)，一般采用機械泵加渦輪分子泵組成，電子槍部位真空度10-4Pa，樣品倉真空度可達(dá)數(shù)十帕
電子槍:電子槍的作用是發(fā)射出作為電鏡照明用的電子源。種類有:鎢陰極電子槍、氧化物陰極、硼化物陰極(六硼化鑭應(yīng)用多)、場發(fā)射陰極
電磁透鏡:電場和磁場都可以使電子束發(fā)生偏轉(zhuǎn)，從而使電子束產(chǎn)生匯聚和發(fā)散
探測器:背散射電子探測器或二次電子探測器
