相較于傳統(tǒng)大型SEM，臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價(jià)格便宜、快速抽真空、不用噴金測量不導(dǎo)電樣品等優(yōu)勢，而且它的放大倍數(shù)可高達(dá)130,000倍。此類新型儀器的出現(xiàn)*光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的空白區(qū)域，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。

　　隨著科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)進(jìn)入了納米領(lǐng)域，人們對顯微技術(shù)、顯微儀器的要求越來越高，需求也日益增長。

　　光學(xué)顯微鏡價(jià)格便宜，操作簡單，但由于可見光波長的限制，其放大倍數(shù)只能達(dá)到1000倍左右;傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數(shù)可以達(dá)到數(shù)萬倍，具有大景深，是當(dāng)前材料科學(xué)、生物科學(xué)領(lǐng)域常用的表征手段之一，但其投資巨大，而且需要經(jīng)過嚴(yán)格培訓(xùn)的操作人員，使用不便。

　　為了解決這一矛盾，美國 FEI 公司在 2004 年提出了臺式掃描電鏡的概念。不同于傳統(tǒng)大型掃描電鏡，臺式掃描電鏡是一種全新的設(shè)計(jì)，其結(jié)合了光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數(shù)和大景深，同時(shí)體積小、操作簡便，價(jià)格僅為傳統(tǒng)電鏡的幾分之一，逼近光學(xué)顯微鏡的價(jià)格。

　　臺式掃描電鏡的組成如下：

　　真空系統(tǒng):一般采用機(jī)械泵與分子泵聯(lián)動(dòng)

　　電子槍:一般為CeB6(六硼化鈰)或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時(shí)，需頻繁更換，CeB6燈絲壽命超過1500小時(shí)，且亮度更高。目前尚沒有采用場發(fā)射(Field Emission)的臺式掃描電鏡。

　　電磁透鏡

　　探測器:背散射電子或二次電子探測器